中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293802345 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD (Atomic Layer Deposition)は、世界的に有名な電子機器メーカー、TELが開発した最先端のエッチャー/アッシャーです。高度な機能と信頼性の高いスループットを提供するため、産業用および研究用の両方に適しています。TEL TELINDY Plus ALDはプラズマエッチャー/アッシャーの一種で、エッチング処理が一貫して再現可能なICメディアプロセッサを内蔵しています。プロセッサはまた、エッチングプロセスの正確なパラメータに関して、より高いレベルの制御をユーザーに提供します。エッチャー/アッシャーは、金属からシリコンまで、さまざまな材料を効果的にエッチングするために使用できるRFジェネレータ、高電圧、およびその他の複雑なエッチング機能を備えています。エッチャー/アッシャーのALD機能は、高精度マスキングに特に役立ちます。ALD (Atomic Layer Deposition)は、サブミクロンレベルのパターニングを作成するために、任意の厚さの0。1nmまでの高精度層の堆積を可能にする技術です。小型ターゲットの高精度マスキングに最適です。また、エッチャー/アッシャーは、最高の純度と精度を必要とするエッチング処理用の超高真空互換性(UHV)も提供します。UHVは、エッチング処理が最小限の不揮発性ボトムとトップレイヤーの形成で行われることを保証し、精密なパターニングを可能にします。その設計は堅牢で信頼性の高い設計で構成されており、ダウンタイムがほとんどなく、効率的で反復可能な結果を保証することができます。エッチングプロセスのパラメータを完全に制御することで、ユーザーはアプリケーションに完全にマッチするようにパラメータを調整し、最大のエッチング精度を確保できます。エッチャー/アッシャーは、幅広いエッチングプロセスに適しており、その高度な機能により、産業用および研究用の両方に最適なツールです。その信頼性の高いパフォーマンスと優れた価値は、あらゆるアプリケーションに最適なエッチングの選択肢の1つになります。
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