中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293638697 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALDはTEL （TE）によって設計された高度に洗練されたエッチャー/アッシャーです。先進的なマイクロエレクトロニクスおよび光学部品の製造用に設計された最先端のデバイスです。TEL TELINDY Plus ALDは、エキゾチックな粒子で原子を励起し、化学的に修正します。このプロセスにより、チップの表面から「エッチング」と呼ばれる材料が除去され、新しいレイヤー構造に再利用されます。結果として生じる薄膜は、多くの電子およびフォトニック用途に使用することができます。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALDシステムは、高度なエッチング/成膜技術を採用しています。化学蒸着（CVD）チャンバーは、TELINDYのステップの1つです。このチャンバーは、蒸気相の前駆体を蒸発させ、反応種を基板に堆積させ、薄く均一な膜を形成します。チャンバーには高精度のシャッターとフィルターが装備されており、目的のエリアを正確にエッチングできます。この電子ビームクラスターツールは、高いアスペクト比と高密度材料に適合した高分解能パターンを提供します。このツールは、基板上に電子のタイトなビームを挿入し、電子をエッチング、形成、または機能の開発に向ける。物理蒸着（PVD）チャンバーもTELINDY Plus ALD技術の一部です。PVDは、垂直に複雑な構造を構築するために使用されます。このチャンバーには、蒸発源、シールド、不活性な雰囲気が組み込まれており、目的の材料を基板に堆積させます。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALDでは、エッチング、デポジット、複製構造に様々なスパッタリング技術を採用しています。この技術は、チップ上の半導体グレード材料をエッチング、堆積、複製するために、さまざまな物理的または化学的スパッタリングプロセスを採用しています。TEL TELINDY Plus ALDエッチャー/アッシャーは、非常に強力で精密なプロセスツールです。最先端のマイクロエレクトロニクスおよびフォトニック部品を製造するのに最適なエッチャー/アッシャーです。エッチング、蒸着、スパッタリングプロセスのフルスイートで、このマシンは最高品質の製品と結果を生成することができます。