中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293609248 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALDは、マイクロエレクトロニクス製造プロセスで使用される高精度めっき装置です。それは2つの機械の組合せです-前乾燥エッチャーおよびasher。エッチャーは、基板から化学的にエッチングされた材料、およびエッチング後の残留物を除去するためにラジカルを使用します。このプロセスは、最適な堆積とメッキのための基板を準備するのに役立ちます。また、アッシャーはラジカルを使用して基板と材料の間に密接な結合を形成し、高層から層への接着に理想的な装置となっています。TEL TELINDY Plus ALDは、めっきや物理蒸着（PVD）など、さまざまな用途に使用できます。複数のフィルムと材料を同時にエッチングすることができます。これは、プロセスの進捗状況と化学の正確な監視のためのエンドポイント検出が装備されています。このシステムの一次加工チャンバはステンレス製で、圧力と温度の両方を活発に制御するように設計されています。チャンバーはサイズの面で柔軟性を提供し、オペレータは一度に複数の基板をプレートすることができます。さらに、チャンバーは粒子生成を低減し、汚染のない環境を提供します。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALDは、圧力スイッチ、光インターロックセンサー、コードリーダ、バーコードサポートなどの安全動作を保証するための統合安全機能を備えています。そのユーザーインターフェイスは、パラメータ設定、グラフィカルインジケータ、オンボード命令を備えた直感的なインターフェイスを提供します。さらに、TELINDY Plus ALDには、エッチングと蒸着プロセス全体を制御するAdvanced Control System （ACS）ソフトウェアが搭載されています。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALDは、費用対効果と反復可能な結果を提供するように設計されています。その高精度エッチングとアッシングプロセスは、マイクロエレクトロニクス部品の最高の寸法を達成します。プロセス監視機能により、精度が向上し、全体的なリスクが低減されます。さらに、統合された安全装置、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、および自動化されたソフトウェアは、マイクロエレクトロニクス製造に理想的なエッチャーおよびアッシャーです。