中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus A-M #9223290 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus A-Mは、半導体デバイス製造に使用されるエッチャー/アッシャー装置です。IC製造工程におけるフォトレジスト除去およびエッチング用途向けに設計されており、基板上の機能の効率的かつ正確なエッチングを提供します。システムは3 軸X -Yステージ、ラックリフトユニット、プラットフォーム、ロールターナーで構築されています。モーションドライバーはサーボモーターによって動力を与えられ、より速く、より滑らかな動きをします。また、付属のPCを備えたPLCマシンを備えており、生産プロセスのリモート監視を可能にします。X-Yステージは、エッチングとストリッピングの両方に正確かつ正確なパターン配置を可能にします。統合されたデュアルトラッキングメカニズムにより、ユーザーはエッチング前に機能を配置するためにX-Y方向の基板を正確にスキャンして追跡できます。このツールには、EthernetソースとOzoneソースの両方を含む複数のエッチング/ストリッピングソース選択が装備されており、より高いスループットとより効率的なプロセスを可能にします。TEL TELINDY Plus A-Mは、完全に密閉された最先端のチャンバー設計を備えています。ステンレス製のチャンバーは、粒子やその他の汚染の可能性を低減し、高品質で再現性のある結果をもたらします。このチャンバーには、エッチングおよび剥離プロセスの制御を強化するための20ステーション精密機械が装備されています。このアセットには、断面イメージングモデルと基板検査装置があり、エッチングおよび剥離プロセスのリアルタイム監視が可能です。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus A-Mは、高い機能性で生産性を最大限に引き出すように設計されています。このシステムには、統合された高さ測定、高度なモーションコントロール、および輸送および基板ローディング中のエラーを低減する基板ローディングユニットが装備されています。また、処理が容易で再現精度が向上するマルチサイトプロセス制御も備えています。さらに、このマシンには、安全性の向上と制御システムの完全な統合のための統合ガスクラバーが装備されています。結論として、TELINDY Plus A-Mは半導体デバイス製造に使用するために設計されたエッチャー/アッシャツールです。このアセットには、3 軸X -Yステージ、ラックリフトモデル、断面イメージング装置、基板検査システムなどの高度な機能と技術が組み込まれています。その高さ測定ユニット、高度なモーションコントロール、および統合されたガスクラバーは、より効率的で正確なエッチング/ストリッピングプロセスを可能にします。高度な設計と統合された機能により、IC製造プロセスに信頼性の高いソリューションをユーザーに提供します。