中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9373212 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxideは、半導体などの表面に複雑なパターンを作成するために設計されたエッチャー/アッシャーです。TEL TELINDY Oxideは完全に自動化されており、統合されたビジョン装置とウエハハンドリングを備えています。Oxideの自動化プロセスにより、ユーザーは精度と再現性を向上させて、より速い結果を出すことができます。個々のプロセスにおいて、Oxideは、構築されたウェーハの画像をリアルタイムで拡大し、システムにフィードバックするデジタルビデオカメラを備えています。ウェーハハンドラは、必要なマイクロプロセスを操作する「手」として機能し、画像処理ユニットは光と化学物質を組み合わせて、形成されたウェーハの詳細で正確な画像を作成します。連動したリアルタイムマシンにより、トレース幅、高さ、深さを優れた精度で制御できます。オゾンはまた、エッチングやアッシングなど、さまざまなプロセス機能を提供しています。エッチングは化学反応を用いてウェーハ上にパターンを加工し、アッシング処理はパターンから破片を除去します。どちらのプロセスも高速かつ正確に実行されますが、段階的なサイクルによって管理が容易になります。オゾンには、エッチングマスクを手動で変更せずにカスタムパターンを作成できるpat-on-the-fly （POF）機能もあります。これにより、生産時間を短縮し、プロセス間の再工程を排除できます。さらに、オゾンは、エンジニアがさまざまな角度からエッチングプロセス全体を透過的に表示することができる選択的表示機能を提供し、プロセスの早期に問題を識別してトラブルシューティングすることが容易になります。オゾンは、トータルオペレータ制御のための様々な複数の言語が付属しています。直感的なコントロールパネルと組み込みセーフティシステムにより、安全な動作を保証します。精密かつ高速なオペレーションにより、オゾンは半導体製造において費用対効果の高い選択肢となります。オゾンは、信頼性の高い操作、徹底した洗浄、特殊処理により、半導体材料やその他の材料の製造に大きく貢献します。