中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9372781 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxideは、多層金属材料を幅広い表面に成膜するために設計されたエッチング/スパッタリング装置です。この機械は、化学蒸着（CVD）プロセスを利用して、表面に酸化物の層を堆積させます。このシステムは、厚さと表面品質の均一な層を作成し、優れた電気絶縁性と均一な電気特性につながります。TEL TELINDY Oxideユニットは、6インチ×6インチ（150mm×150mm）のチャンバーサイズの単層および多層化合物をスパッタリングすることが可能で、プリント基板などに高精度に膜を堆積させることができます。作り付けのRFの発電機は信頼でき、一貫したスパッタリング力および酸化物の均一で、一貫した層を提供します。さらに、必要なプロセスパラメータを達成するために不可欠な低圧環境を作り出す真空ポンプを使用しています。このツールは、チタン、タンタル、アルミニウム、銅、タングステンなどの様々な金属の堆積を可能にします。シングルウェーハエッチャーの電極高さは最大8インチ（200mm）で、酸素、アルゴン、窒素など様々な源から酸化物を堆積させることができます。また、エッチング工程で使用する時間と労力を削減するために、酸化物蒸着プロセスを自動化する機能も備えています。TOKYO ELECTRON TELINDY Oxideモデルは、半導体およびプリント基板業界のニーズに合わせて設計された複数のモデルで提供されています。この装置は幅広いプロセスパラメータを備えており、複雑な回路基板構造を製造することが可能です。このシステムは、過圧保護ユニットや温度制限などの安全監視機能も備えており、信頼性と安定した蒸着性能を提供します。すべてのTELINDY酸化物機械のすべてはいろいろな基質の高精度の金属フィルムの沈殿のための有効で、信頼でき、費用効果が大きい用具です。柔軟でカスタマイズ可能なオプションにより、このツールは最高の業界基準を満たすために使用できます。それは信頼できる、高性能のエッチング/スパッタリングの資産を捜す製造業の専門家のための優秀な選択です。