中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9311153 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxideは、半導体ウェーハのエッチングとアッシングの先進デバイスです。ウェットケミカルエッチングを使用して、基板上に特定の厚さの酸化物の層を堆積させます。この酸化物層は、集積回路の絶縁、マイクロ波やアンテナアプリケーションの誘電層、電子デバイスの表面不動態化、オプトエレクトロニクスデバイスの紫外線からの保護など、さまざまな用途で使用できます。TEL TELINDY Oxideは、高性能、低容量、ポンプ式の化学貯蔵装置を備えており、効率的で正確かつ効果的な操作が可能です。装置は閉鎖されたシステムにあり、危険な化学物質が環境に逃げることを防ぎます。自動化されたケミカルデリバリーユニットは、酸化物蒸着プロセスを正確に制御し、正確な厚さを実現します。このデバイスは、コンピュータ制御の入浴温度とガス圧力を利用して、最適なエッチング性能を実現します。また、より高い精度と均一性を実現するエアフロー制御を採用しています。これらの機能を組み合わせることで、ウエハサイズの異なる連続バッチでも一貫した酸化物の蒸着を維持することができます。このデバイスは、エッチング処理中に一定の温度を維持するための自動温度制御ツールで設計されています。これは、手動で温度設定を調整することなく、デバイスが最も広い範囲の温度に到達するのに役立ちます。さらに、このデバイスはさまざまなタイプのマスクとウェーハを使用することができ、製造プロセス中の新しいマスクとウェーハの必要性を減らすことができます。このデバイスはまた、エッチング処理中に物理的な損傷や化学汚染からウェーハを保護する自動キャッピング機能を備えています。アセットには、プロセス容器の下部に真空を使用した差動ポンプも含まれています。これは、容器内の粒子の蓄積を防ぐのに役立ちます。最後に、このモデルには、デバイスの障害を検出し、迅速にオペレータに警告して、是正措置をとることができる診断機能が装備されています。要約すると、TELINDY Oxideは半導体ウェーハ用の高度なエッチャー/アッシャーです。ウェットケミカルエッチングを使用して酸化物の層を精密に堆積させ、さまざまなウエハサイズにわたって均一性を提供します。このデバイスは、自動ケミカルデリバリーおよび温度制御システム、およびオートキャッピングや差動ポンプなどのその他の機能で設計されています。診断機能は、デバイスの障害や不規則性を検出し、スムーズな動作と信頼性の高い結果を保証するのに役立ちます。