中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9282573 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxideは、高精度エッチングおよびアッシング用途向けに設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。半導体、パネル、フラットパネルディスプレイ（FPD）、ディスクリート半導体、データストレージ、MEMS、薄膜ヘッド製造など、さまざまな業界での使用に適しています。TEL TELINDY Oxideは、エッチング/アッシング精度を向上させ、多様な材料や複雑なパターンを処理する汎用性を備えた多機能エッチャー/アッシャーシステムです。これは、高度な製造目的のための酸化物、窒化物、ポリイミド、および薄膜のすべてのタイプをエッチングし、アッシングすることができます。リアルタイムパーティクルアナライザなどの最新技術と独自のフロー制御ソフトウェアを搭載しています。これにより、さまざまな深さを必要とする層をマスキングする場合でも、ウェーハまたは基板表面全体の均一なエッチング/アッシングが保証されます。このマシンには「、ストレート」「、カーブ」「、マルチスタック」エッチング/アッシングなど、さまざまなエッチングおよびアッシング処理が含まれています。室温から900°Cまでの調節可能な温度範囲と、統合された超低圧薬品供給技術を備えています。これにより、エッチング/アッシングプロセスを優れた制御が可能になり、オペレータはさまざまなアプリケーションの個々のプロセス要件に合わせてエッチング/アッシングプロセスを正確に調整できます。このツールには、自動排気調整アセット、連動安全扉、緊急停止ボタンなど、多くの安全機能も含まれています。これは、理想的な動作環境を維持するために排気流量を積極的に調整する完全に自動化された排気モデルを備えています。TOKYO ELECTRON TELINDY Oxideは、操作者に直感的で使いやすいグラフィカルインターフェイス（GUI）を提供します。GUIには、機器を操作するために必要なすべての情報が含まれており、エッチング/アッシングプロセスのすべての段階を簡単にオペレーターを導くように設計されています。これにより、オペレータはニーズやアプリケーションに合わせてシステムを迅速かつ効率的に構成することができます。全体として、TELINDY Oxideはさまざまな業界に高度なエッチャー/アッシャーユニットを提供しています。高い精度と汎用性により、複雑なパターンや素材のエッチングやアッシングに最適です。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxideは、直感的なGUI、自動化された安全機能、および調節可能な温度制御により、エッチングおよびアッシングのすべてのアプリケーションにおいて信頼性と一貫したパフォーマンスを保証します。