中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9253819 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide（しばしばTEL Oxideと略される）は、業界をリードするTOKYO ELECTRONおよびTEL/TOKYO ELECTRONの最新鋭のドライプラズマエッチャーおよびアッシャーです。TEL酸化物は、高精度の金属酸化物エッチング、酸化物アッシング、表面洗浄に理想的なツールです。TOKYO ELECTRON OXIDEは、基板の直前にプラズマビームを衝突させて酸素などの反応ガスを均一に分布させ、エッチプロファイルを一貫したものにするという点でユニークです。これにより、TEL/TOKYO ELECTRON Oxideは、金属や金属酸化物エッチングにおいて、深い揮発性のエッチングパターンを必要とする好みになります。TEL Oxideは、エッチング処理を簡素化するシングルチャンバードライエッチャーです。これは、金属酸化物基板をエッチングするために単一のウエハツールを使用します。また、リモートシャワーヘッドを使用して、斜めの発生率エッチングを可能にし、エッチングビームをエッチングの増加を必要とする領域だけに指示します。その特徴は統合された電子バランサーを含み、精密なプロセス制御を可能にします。酸化東京エレクトロンはまた、信頼性の高い操作とプロセス結果の改善のために、酸素とヒ素レベルの自動調整を行っています。また、静電気防止システムを搭載しており、静電場に対する優れた保護を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Oxideはまた、プラズマエッチングと酸化を成功させるために必要な2つの主要コンポーネントである温度制御およびガス分配システムを内蔵しています。温度制御システムは、一貫したエッチング結果を保証するために温度を安定させるのに役立ちます。ガス分配システムは、チャンバー全体の反応ガスの均一な分布の最適な注入を保証します。さらに、TEL Oxideは、エッチングプロセスの広い範囲にわたる比類のない汎用性を持っています。これは、MEMデバイスで使用されるような小さなエッチングアプリケーションだけでなく、薄膜トランジスタやその他のハイエンドのアプリケーションで使用されるような、より大きく、より複雑なエッチングアプリケーションをサポートしています。TOKYO ELECTRON OXIDEは、金属や金属酸化物基板の信頼性と強力なエッチング機能を必要とするお客様に最適です。この最先端のドライエッチャー/アッシャーは、業界をリードする機能と機能を提供し、精密エッチングと酸化に最適なツールです。