中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9233213 を販売中

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY OXIDEは、TEL/TOKYO ELECTRONが高品質の薄膜堆積物と複雑な多層構造物の製造のために開発したエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、化学蒸着とプラズマ強化化学蒸着（PECVD）技術を利用して、シリコンウェーハに材料を堆積させます。これにより、小型化や精密デバイス工学に使用される最先端の半導体デバイスや機器の製造に適しています。TEL TELINDY Oxideは、流量やガスなどのプロセスパラメータを精密に制御するドライエッチングが可能です。これらのパラメータは、エッチングプロセスのプロファイルと結果として生じる膜厚を決定します。このユニットには4インチの反応チャンバーが装備されており、シリコンウェーハ部品のより大きな領域の堆積を可能にします。また、高精度で2段エッチングが可能です。第1段階はベースエッチング工程で、部品の基本構造と形状を作成し、第2段階は細部を精製するためのトップエッチング工程です。TOKYO ELECTRON TELINDY Oxideを使用したエッチングは、単層または多層エッチングプロセスで使用する場合でも高精度です。これにより、LCD、 CCD、 MEMSなどのデバイスで使用するために必要な複雑なパターン化された基板の製造に最適です。安全性の面では、TELINDY Oxideツールは、緊急電源オフ（EPO）スイッチと緊急ベントアセットを備えています。EPOスイッチは緊急時にはすぐにモデルをシャットオフし、ベント装置は内部の空気とガスを避難させます。また、加圧反応室を備えており、安定した反応環境を確保しつつ、漏れや汚染の可能性を低減します。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxideユニットにはユーザーフレンドリーなコントロールパネルが装備されています。これにより、ユーザーは設定やプログラムを保存し、エッチング率を向上させ、エッチング結果をレプリケートして製品開発を迅速に行うことができます。さらに、このマシンは、タッチスクリーンLCDモニターだけでなく、注入、ガス流量、および圧力自律性を監視するためのデータトラッカーを備えています。全体的に、TEL TELINDY Oxideツールは、複雑な多層構造を持つ精密で高品質のエッチングを行うことができる高度なエッチャー/アッシャー資産です。センサーとモニタリングシステムは、ガス漏れや汚染などの問題が発生しないことを保証します。さらに、ユーザーフレンドリーなコントロールパネルにより、プロセスパラメータを簡単に追跡および編集できます。