中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9233211 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxideは、さまざまな業界のエッチングプロセスに使用されるエッチャー/アッシャーです。気相エッチャーと電気化学アッシャーの組み合わせで、汎用性に優れています。TEL TELINDY Oxideは、幅広い変調とプロセス制御が可能です。高効率で、フォトレジストの選択蒸着やマイクロエレクトロニクス業界におけるエピレイヤーのレーザーアブレーションなどのエッチング処理が可能です。このデバイスは、200 nmのエッチングギャップを達成することができ、そのエッチングレートは80 nm/minと同じくらい高いです。TOKYO ELECTRON TELINDY Oxideには、マイクロエレクトロニクスに最適なユニークな機能がいくつかあります。低温熱酸化システムを備えており、エッチング工程において精密な温度制御が可能です。この低温機能により、過熱のリスクが低減され、プロセスの安定性が向上します。このデバイスはまた、均一なエッチング深さ制御機能を備えています。これにより、エッチングの均一性が向上し、フィーチャーサイズのばらつきを最小限に抑えることができます。また、粒子発生を低減するために重要な活性RF洗浄およびスパッタリング機能も備えています。また、高アスペクト比の構造を高精度にエッチングすることも可能です。これは、マイクロビアの製造など、ディープエッチングを必要とする幅広いエッチング工程にとって重要です。TELINDY Oxideは、家電からバイオメディカルデバイスまで、さまざまなエッチング用途で使用できる信頼性の高い効率的なツールです。気相エッチングと電気化学アッシングの組み合わせにより、高精度の複雑な構造のエッチングに最適です。さらに、アクティブなRF洗浄とスパッタリング機能により、粒子生成のリスクを大幅に低減します。