中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9194459 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxideは、濡れた環境でも乾燥した環境でも動作する、汎用性の高いエッチング/アッシング機器です。TEL TELINDY Oxideは、酸化物エッチング、酸化物アッシング、平面化など、さまざまなプロセス用途に対応するように設計されています。TOKYO ELECTRON TELINDY Oxideシステムは、効率的なエッチングとアッシングプロセスのための完全自動化ユニットを備えています。その自動化された機能は、強力な熱プラズマ源と効率的なガス供給機と相まって、TELINDY Oxide Toolをさまざまな生産状況や用途に適しています。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide Etcher/Asherは、高いエッチング速度、低温動作、長いエッチング時間など、プロセスの柔軟性を提供します。TEL TELINDY Oxideアセットは、ユーザーが特定のニーズに応じてプロセス条件をカスタマイズできるように、さまざまなプロセスパラメータを使用してエッチングするようにプログラムされています。酸化モデルは1500°C以上に温度制御されたドライエッチングが可能で、異方性、等方性、または超選択的なエッチング速度で高品質の結果を得ることができます。酸化物装置はまた、高度なプラズマ源とガス供給システムを組み込み、非常に効率的なエッチングプロセスを作成します。TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide Unitは、エッチングとアッシングの幅広い技術を提供しています。エッチング中のガス分散を制御するための特許取得済みの電気力学的ガス掃引技術を特長としています。さらに、プラズマソースには、高品質のエッチングとアッシングを生成するように設計された複数の特殊なカートリッジが組み込まれています。最終的に、高速ウェーハ搬送部品は、ウェーハの高速負荷/アンロードスループットだけでなく、温度を調節したサーモスと、特殊な加熱および冷却のための精密なガス流量制御を提供します。TELINDY Oxide Machineは、エッチングおよびアッシングプロセスのプロセスパラメータをリアルタイムで監視できる高度なプロセスモニタリングツールも備えています。ウェーハバイウェーハプロセス制御機能を備えたこのアセットは、プロセスの最適化、歩留まりの向上、パフォーマンスの向上を可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxideモデルは、エッチングとアッシングのプロセスにおいて優れた性能、信頼性、価値を提供します。費用対効果が高く効率的な酸化物装置は、フィルムエッチングとアッシングの精度と一貫性が不可欠なアプリケーションに最適です。高度なプロセス制御機能を備えたTEL TELINDY Oxideシステムは、今日の業界で最も効果的で正確なエッチングとアッシングを提供します。