中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Nitride #9219405 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY窒化物（TELINDY）は、酸化物、窒化物、金属間膜の成膜用に設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、高温で多数の集積回路部品を作成するために使用できる汎用性の高いツールです。TEL TELINDY窒化物装置は、自動化された処理とプログラム可能なレシピ制御を提供します。独自の炉、高真空システム、RFまたはDC駆動プラズマ源、および最大2つのデュアルガスモードソースを含む完全な機能とアクセサリが付属しています。特長豊富なユニットは、高精度な制御により厚さ1/4〜1/2ミクロンのフィルム層を加工し、一貫して高品質のフィルムを製造することができます。TELINDYマシン内の炉は、最大出力3.2kWで最大1200°Cの加熱が可能です。調節可能なサセプターを備えた加熱スペースと基板ホルダーを内蔵し、より優れた蒸着効率を実現しています。このツールには、3x10-7 Torrのベースプレッシャーを達成できる高真空アセットも装備されています。プラズマ源は、フィルム成膜前にクリーンベースエッチングを提供するために使用されます。ファラデーケージや静電チャックなどのデバイスは、プラズマ活動を制御するために使用することができます。このモデルは、最大500ワットのRFまたは最大1200ワットのDCによって駆動されます。デュアルガスモードソースは、Ar、 H2O2、 O2、 SiH4、 CH4などの様々なタイプのガスを備えており、ゲート酸化物エッチングと蒸着の両方を実行します。TELINDY装置は信頼性が高く、正確で効率的です。高度な物理蒸着（PVD）技術は、最先端のIC部品のための高品質の窒化膜を確保するために最適化されています。このシステムの機能により、集積回路業界で最も人気のあるエッチャー/アッシャーシステムの1つになります。