中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY B #9314443 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Bは、ウェーハ加工用に設計されたエッチャー（別名アッシャー）です。パターニングとエッチングを一体化した一体型の装置です。この高効率でスケーラブルなシステムにより、1 μ mから数ミクロンまでの機能サイズを実現できます。TEL TELINDY Bの主な構成要素は、真空チャンバー付きエッチャー、高周波発生器、回転電子ビーム、電子ビーム蒸発器、走査型電子顕微鏡（SEM）、パターニング・プロファイル制御装置、ロードロック装置、セミオートウェーハプロービングツールです。エッチャーは、ウェーハを制御された環境条件で処理する真空チャンバーを備えています。高周波ジェネレータは、エッチング処理に不可欠なRFフィールドを作成します。回転する電子ビームは、エッチング工程を加速するのに役立つプラズマをチャンバーに作成します。電子ビーム蒸発器は、制御された均一なエッチング効果を提供するためにエッチングを蒸発させるために使用されます。TOKYO ELECTRON TELINDY Bは、パワフルなパターニングとプロファイル制御アセットも備えています。高度なアルゴリズムは、プロファイル制御とパターニングに使用され、エッチング効率が大幅に向上します。このモデルには、一度に最大8つのウェーハを分析できるセミオートウェーハプロービング装置も含まれています。ウェーハの厚さや地形を素早く正確に測定できるシステムです。このユニットは、半導体製造で使用されるすべての主要なCADシステムと完全に互換性があります。TELINDY Bは、最新のIC製造のための信頼性が高く効率的な機器ソリューションであり、ウェーハの処理時間を大幅に短縮するのに役立ちます。高精度で再現性の高い複雑なウエハ形状や構造を必要とする半導体企業に最適です。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Bは、精密な制御とオートメーションにより、高品質のウェーハ製品を確実に生産します。