中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY B #293818325 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Bは、エッチングレートの均一性、高速性、再現性に優れた高性能エッチングツールです。プラズマエッチングやドライエッチングの幅広い用途に最適です。TEL TELINDY Bは、TELオリジナルのTELINDY処理を改良し、より高いスループットで優れたエッチング率の均一性を実現します。プロセスチャンバーは、TELINDY技術を使用して、効率的なエッチング性能のためにチャンバー全体に均質な材料処理を保証します。また、処理時間や流量に関係なく安定したプラズマ密度を確保します。TOKYO ELECTRON TELINDY Bには、エッチング用の高性能プラズマ源も含まれています。高い精度を維持しつつ、スループットの向上とプロセス時間の短縮を実現します。高出力プラズマ源により、複雑な形状をエッチングする際のマスクアライメントを改善し、高精度なエッチングを実現します。TELINDY Bはまた、精密なプロセスチューニングと再現性のための高度なインテリジェント制御システムを備えています。エッチングプロセスのパラメータをリアルタイムで制御することができ、各プロセスのプロセス最適化と最適化を容易にすることができます。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Bは、ウェットエッチング、プラズマエッチングなどの高性能エッチング用途に使用できます。シリコン、窒化ガリウム、白金ケイ化物などのエッチングに適しており、高精度エッチングを必要とする非常に複雑な用途に適しています。操作が簡単で、直感的な制御システムにより、プロセスの最適化を簡素化できます。汎用性の高いTEL TELINDY Bには、エッチング機能を強化するために取り付け可能なオプションコンポーネントも付属しています。モジュラーベベルヘッドアセンブリは、マスクのアライメント精度を向上させ、ヘッドヒーターはエッチング前のマスクの必要性を排除し、複雑な層に均一なエッチング深さを提供します。さらに、高度なオートフォーカス機能により、エッチング時にビームがピント合わせされ安定した状態に保たれます。TOKYO ELECTRON TELINDY Bは、半導体製造、誘電体、オプトエレクトロニクス、MEMS/NEMSなど、さまざまな業界での使用を想定して設計されています。精密電子機器や部品のエッチングに最適です。その優れた再現性、高速性、高精度の性能により、信頼性と費用対効果の高い結果が得られます。