中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY B #293763018 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Bは、アッシャーとも呼ばれるエッチャーの一種です。真空システム、プロセスソースユニット、プロセスユニットからなる半導体・太陽電池デバイス製造装置です。電子ビーム技術と専用のソフトウェアマシンを使用して、均一性と精度の両方でエッチング処理を制御します。エッチャーは、真空アセット、プロセスソースモデル、およびプロセスユニットの3つの主要なコンポーネントに依存しています。真空装置は、チャンバーから空気とガスを取り出し、その中心となるターボ分子ポンプです。一方、プロセスソースシステムは、マスフローコントローラ、圧力コントローラ、マルチガス穴あきチューブの統合ネットワークを介してアクセスされるプラズマソースガスを供給する上で重要な役割を果たしています。最後に、プロセスユニットは、応用ガス圧力、流量、パワー、およびユニットのタイミングを制御することにより、チャンバー内のエッチングプロセスを提供します。TEL TELINDY Bエッチャーは、電子ビーム蒸発器によるエッチング工程内での高精度な制御が可能です。このビームは、厚さ制御で薄膜源の蒸発を制御するために使用され、また、選択的にプレートをコートする能力を持っています。エッチャーはまた、ウェーハCD（臨界寸法）測定機を使用してエッチングするための多くのプロセスレイヤーを配置することができます。東京電子TELINDY Bエッチャーは、さまざまな基板の均一性を調節する優れた温度制御機能も備えています。このエッチャーの付加的な利点の1つは、オペレータがエッチング工程をニーズに合わせて調整するために、チャンバー圧力、冷却ガス圧力、ガス流量などのプロセスパラメータを利用できることです。最後に、エッチャーには直感的なソフトウェアツールが装備されているため、エッチングプロセスを最適化し、多くのタスクを自動化することができます。これにより、オペレータはさまざまなプロセスパラメータを調整しやすくなり、エッチング処理の結果が一貫して正確であることを確認できます。全体的に、TELINDY Bはエッチング工程の精度と制御を保証する電子ビーム蒸発器を備えた高度なエッチャーです。オペレータはプロセスパラメータを使用してエッチングプロセスをニーズに合わせて調整でき、直感的なソフトウェアアセットは特定のタスクの使いやすさと自動化を保証します。