中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY B #293763016 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY B
ID: 293763016
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
Vertical furnace, 12" Process: HIK Power supply: 208 V, Single phase / 480 V, 3 Phase 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Bは、半導体デバイスの製造に使用されるエッチャー(アッシャーとも呼ばれる)です。この装置は、酸化アルミニウム、二酸化ケイ素、ポリイミドなどの異なる材料に精密かつ高品質のエッチングを可能にする高度な制御技術を備えています。オートスタート機能、自動クリアステーション、高速エッチング機能など、印象的な機能を提供します。TEL TELINDY B etcherの主なコンポーネントは、その主な制御システムです。これはPICA AccustatsコントローラとFEREPS PROMIC-51Eプロセッサで構成されています。PICAコントローラは、エッチャー室内の流量、圧力、および圧力降下を制御する責任があります。FEREPS PROMIC51Eプロセッサは、エッチング処理と設定されているパラメータを担当します。このユニットは、温度安定性を維持するのに役立つ効果的な冷暖房機を備えています。また、微細な振動を避け、エッチング工程の不整合を防止するための防振設計構造を備えています。これは、チャンバー内の視認性を向上させることができますウィンドウが付属しています。TOKYO ELECTRON TELINDY Bエッチャーは、オートスタートと自動クリアステーション機能を備えています。自動始動機能により、エッチング時間の延長による過剰エッチングのリスクを低減し、作業時間の節約にも役立ちます。自動清算ステーションは、汚染のリスクを低減し、エッチングに費やす時間を短縮し、ツールの生産性と効率を向上させるのに役立ちます。最大800mm/秒の速度でエッチングが可能で、高精度で再現性の高いエッチング処理により、粗さや表面欠陥を低減できます。このアセットを使用すると、複雑な3Dエッチングだけでなく、2方向および多方向エッチングなどのさまざまなプロセスを実行できます。安全な安定性と精度で0。1? mまでの厚さを維持できる厚さ調整ユニットを備えています。TELINDY B etcherは、半導体の研究開発、微細加工、ナノ加工、トライボロジー、航空宇宙など、さまざまな分野での使用に最適な柔軟な設計を備えています。この設計には、ダウンタイムの削減と生産効率の向上に役立つ自己診断機能も含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY B etcherは、精密エッチング機能を提供し、生産性と効率を向上させるために設計された先進モデルです。この装置の堅牢な機能と精密なエッチングプロセスにより、半導体エッチング業界のリーダーとなりました。
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