中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY B #293763014 を販売中
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ID: 293763014
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
Vertical furnace, 12"
Process: HIK
Power supply: 120 V, Single phase / 480V, 3 Phase
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Bは、さまざまな製造環境で使用されるエッチャー(別名アッシャー)です。このマシンは、非常に高精度で大容量と小容量の両方のウェーハを処理するように設計された高度なバッチ処理装置です。このシステムは、フォトリソグラフィ、薄膜加工、誘電体、絶縁層などの半導体技術に最適です。TEL TELINDY Bユニットは、平坦面または曲面から複数種類のウェーハ材料を処理することができます。2つの精密エッチングタンクがあり、それぞれ独立して制御されたエッチング速度を備えています。エッチタンクの底には、プロセス全体で一定の温度を提供する大口径の浸漬ヒーター素子が含まれています。タンクは化学抵抗力があり、etchantの多数の容器を安全に貯え、機械を有効、安全にさせます。精密な温度制御により、狭い線と特徴を備えた小さな断面を正確に切り取ることができます。エッチングパターンの精度を確保するために、このツールには特別なソフトウェアコントローラーが装備されており、ユーザーはウェーハパラメータを監視、分析、調整できます。これにより、エッチングプロセスの微調整と制御が可能になり、最高品質の結果が保証されます。このソフトウェアは、ガス密度、電力、深さなどのパラメータを制御するだけでなく、エッチングパターンの品質に関する情報も提供します。この資産はまた、高度な保護機能のおかげで堅牢で信頼性があります。温度モニターとPHメーターを装備し、化学組成の変化や漏れ検出器をチェックします。これらはすべて、潜在的に危険な状況を防止し、モデルの寿命を延ばすために不可欠です。TOKYO ELECTRON TELINDY B Etcherは、コスト効率が高く、信頼性が高く、精密なソリューションです。その高度な機能と安全メカニズムは、小規模および大規模生産の両方に最適です。
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