中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Anneal #293822430 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Anneal
ID: 293822430
Vertical furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDYアニールは、シリコンウェーハ、石英、ガラス板などの基板のケミカルアニーリング処理に使用されるエッチャー/アッシャーの一種です。このエッチャー/アッシャーは、この処理用に特別に設計されており、正確な温度制御で低温アニール処理を行います。TEL TELINDY Annealは、エッチャー/アッシャーと統合された1つのプラットフォーム上の湿潤プロセスを使用して、単一の基板のアニールを可能にするように構成されています。TOKYO ELECTRON TELINDYアニールは、幅630mm、奥行き549mm、高さ794mmの卓上式エッチャー/アッシャーです。これは、350°Cまでの外部制御温度範囲と70kgの総重量を持っています。さらに、このエッチャー/アッシャーは、8 インチLCDとメンブレンスイッチパネルを備えたコントローラを備えており、自己診断および処理状態にも対応しています。このエッチャー/アッシャーは、化学蒸着、物理蒸着、電気めっき、エッチングなど、さまざまな湿潤プロセスに適しています。それはケイ素、水晶、ガラス、陶磁器、酸化ケイ素、アルミニウム、ステンレス鋼、および他のような異なった材料をアニールするのに使用することができます。また、酸化制御システムを内蔵しており、理想的なアニール環境を維持しながら、複数の酸化プロセスを同時に実行することができます。また、エンボス加工、水系半導体加工、エッチングプロセスを高精度に取り揃えており、エッチングと酸化プロセスの重複が可能です。これにより、ウェーハあたりの全体的な時間を短縮することで、より迅速なアニーリングプロセスをサポートするため、ユーザーの時間節約とコスト削減を容易にすることができます。さらに、TELINDY Annealは、センサ技術を統合して温度変動を検出し、正確なリアルタイムフィードバックを提供し、過熱を防止します。これにより、最適な作業温度と高品質のアニーリング結果のメンテナンスが保証されます。また、パフォーマンス証明書が付属しており、特定のニーズに応じて調整できるカスタマイズ可能な設定を利用しています。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Annealは高効率で汎用性の高いエッチャー/アッシャーであり、各種基板の精密アニール処理用に設計されています。温度・湿度制御、酸化制御、エンボス加工、エッチング、水系半導体加工など幅広い機能を備えています。そのセンサー技術とリアルタイムのフィードバックは、最適な作業温度を維持して最適な結果を得るのにも役立ちます。
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