中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Anneal #293638715 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Annealは、半導体ウェーハ上に高精度のパターンを生成するために設計された高度なエッチングおよびアッシング装置です。あらゆるサイズ・厚さのウェーハにエッチング、ダイシング、パターニングなどの加工が可能です。このシステムは、メンテナンスを最小限に抑えて信頼性と再現性の高い結果を提供するように設計されています。TEL TELINDYアニールユニットは、チャンバー全体に固定されたボトムプレートと、可動アームであるトッププレートの2つの主要コンポーネントで構成されています。ボトムプレートはウェーハを所定の位置に固定し、加工中の正確な位置決めとアライメントを可能にします。トッププレートは、エッチングやアッシングに必要な工具や部品を含むロボットのようなアームです。機械は友好的なタッチ画面インターフェイスおよび直観的な制御とユーザーフレンドリーであるために造られます。インターフェースは、ユーザーがエッチングおよびアッシュするパターンをプログラムするだけでなく、所望の結果を生成するために必要な速度と圧力設定を可能にします。このツールには、圧力制限や温度設定などの高度な安全機能も含まれています。エッチングとアッシングのプロセス自体は簡単で、主に2つのステップに分けることができます。まず、一連のケミカルバスを使用してパターンをウェーハにエッチングします。その後、ウェーハの表面から残留物を除去するために、ウェーハを洗浄します。このアセットにより、温度とエッチング圧力を正確に制御でき、複数のウェーハで一貫した結果が得られます。ウエハーをエッチングして焼却すると、東京エレクトロンテリンディアニールモデルを使用して、得られたパターンの品質を検査することができます。この装置には高度な光学顕微鏡が搭載されており、ユーザーはエッチングとアッシングの結果を非常に高い倍率で観察することができます。これにより、パターンの品質を正確に評価することができ、毎回完璧な結果を保証します。全体的に、TELINDYアニールシステムは、メンテナンスとユーザーフレンドリーな操作を最小限に抑えて正確な結果を出すように設計された高度なエッチングおよびアッシングユニットです。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDYアニールマシンは、高度な安全機能、直感的なユーザーインターフェース、高精度オプティクスを備え、あらゆる半導体ウェーハ処理アプリケーションに最適です。