中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #293638696 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-Kは、妥協のない精度、再現性、スループットを実現するエッチャー/アッシャーです。このエッチャーは、量産型半導体デバイスで優れた性能を発揮するように設計された、高度に自動化された高速マルチステーション機器です。特許取得済みの超狭型の異方性スパッタ転送プロセスとダブルビームハイスループットエッチャーにより、TEL FORMULA ALD High-Kは最高レベルの精度、再現性、最高レベルのスループットを提供します。システムの分散コンピューティングアーキテクチャは、応答性、スループット、コストにバランスの取れた柔軟なツール・ファクトリー環境を提供します。ユニットプロセスエンジンの独自設計により、ユーザーは高度な制御と幅広いプロセスの組み合わせでプロセスレシピをカスタマイズすることができます。また、200mmおよび300mmウェーハを含む多数の基板フォーマットにも対応しています。ALD High-Kにより、このツールの大規模な並列アーキテクチャにより、エンジニアは、精度、スループット、再現性、安定性を犠牲にすることなく、独自の性能プロファイルを自由に作成できます。ALD High-Kは、環境制御規約の様々な対策に対応し、さまざまなウエハの種類とサイズを統合して最適化された処理体験を提供し、マルチコア処理アーキテクチャを搭載しています。ALD High-Kの輸送および処理資産は、表面処理から堆積まで、最も深いプロセス統合を可能にします。このオートメーションプロセスは、基板処理による遅延や中断を最小限に抑えながら、スループット、精度、再現性を大幅に向上させます。このモデルの卓越したバランス制御は、乱れた基板の可能性を低減します。ALD High-Kを使用すると、エンジニアはより高い精度とスループットで数ナノメートルの厚さまたは厚さのレイヤーを処理できます。東京エレクトロンTEL/TOKYO ELECTRON FORMULA ALD High-Kは、比類のない精度、再現性、スループットのエッチャー/アッシャーです。この機器は柔軟性と比類のない制御でレシピをカスタマイズする能力を提供し、優れたデバイス処理と最高レベルの生産性を保証します。