中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8501 #9396122 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8501は、1つのシステムでさまざまなエッチングおよび成膜プロセスを実行するように設計された高度なエッチング/アッシャー装置です。エフェクトベースのツールを使用してエッチングまたは蒸着プロセスを正確に制御し、ユーザーは費用対効果の高い方法で再現可能な結果を得ることができます。半導体ウェーハ、フォトマスク、MEMS、ナノスケール構造などの基板のエッチングおよび成膜結果において優れた均一性を提供するように設計されています。このツールは、高度なマルチステージエッチャー/成膜チャンバーを備えているため、幅広いエッチングおよび成膜プロセスを提供できます。このアセットには、リアルタイムエンドポイント監視ツール、マルチトラックモード、パターン化されたウェーハ生産サポートなど、いくつかの高度な機能も装備されています。このモデルは、プラズマ、不活性ガス、およびRF電源の複数のソースを使用して、さまざまなエッチングおよび沈着プロセスを実行します。さらに高速アッシャーを搭載し、高スループットを実現しています。ハイスループットエッチング/蒸着プロセスを提供することができ、ユーザーはアプリケーションを迅速かつ効率的に実行できます。このシステムは、プロセス中のオペレータの相互作用を最小限に抑えることができる自動プロセス制御ユニットなどの高度な機能も提供します。このマシンは、幅広いエッチングおよび成膜アプリケーションで高性能な結果を提供するように設計されています。また、多数のプロセスガスと互換性があるように設計されており、さまざまなウエハサイズで作業することができます。このツールには、コンピュータベースのタッチスクリーンユーザーインターフェイスと、リモートコントロール用のLAN/WANインターフェイスが含まれています。最後に、この資産は、ユーザーに最大の生産性と最小限のメンテナンスを提供するように設計されています。