中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8501 #293608640 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8501は、高度なプラズマエッチング技術を駆使したエッチャー/アッシャー装置です。半導体ウェーハをエッチングする際に特に重要な、印象的なプラズマエッチング精度を提供します。このユニットは、電子サイクロトロン共鳴（ECR）源を内蔵しており、無線周波数（RF）波によってプラズマを生成します。ECRソースは、高精度が要求される半導体エッチングなどの用途に最適な、高品質で高均一なプラズマを作成します。さらに、TEL TE 8501は、プラズマエッチング処理を正確に制御するために使用できる堅牢なデジタルフィードバック制御機を備えています。TOKYO ELECTRON TE 8501には、エッチングパラメータを簡単に監視および調整できる強力なプロセスモニタリングコントロールツール（PMC-S）も搭載されています。エッチング性能を最大化し、ユーザーが望むエッチング結果を達成するのに役立ちます。PMC-Sアセットにはオプションのデータロギング機能があり、エッチングパラメータとパフォーマンスを追跡できます。また、ユーザーがプロセスパラメータを自動化するのに役立つカスタマイズ可能なレシピも提供しています。最後に、TE 8501は信頼性の高いエッチングツールです。自動メンテナンスモデルを搭載し、パフォーマンスを向上させ、メンテナンスを削減し、機器の寿命を延ばす。これは、あらゆるエッチングプロセスに関連する物理的および化学的危険からユーザーを保護する高度な安全機能を備えています。全体的に、TEL/TOKYO ELECTRON TE 8501は、精度と信頼性の高いエッチングシステムを必要とするユーザーにとって優れたエッチングオプションです。高度なプラズマエッチング機能とカスタマイズ可能なパラメータ設定により、優れたエッチング結果を得ることができます。さらに、堅牢な構造と自動化されたメンテナンス機能により、ユニットを長期間にわたって効率的に稼働させることができます。