中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500SA TCESC #197618 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500SA TCESCは、微細・ナノスケールの極めて精度の高い構造物をパターン化・形成するエッチング装置です。これは、7ナノメートルのような小さな特徴を作成することができ、高精度の走査電子顕微鏡ベースの設計を特徴としています。この機能により、ユーザーは個々の原子分解能レベルまで構造を作成できます。TEL TE 8500SA TCESCエッチングシステムは、走査型電子ビーム技術を用いてサブミクロン精度で電子を誘導し、様々な材料の複雑な構造をエッチングします。加工できる材料には、石英、シリコン、ガラス、金属などがあります。このユニットは、エッチング処理を監視するためにサンプルの組成を正確に検出できる高分解能質量分光計を備えています。質量分析計を使用すると、機械はサンプルに存在する材料を正確に識別できます。この機能により、エッチングツールはサンプルの組成に合わせてエッチングプロセスを自動的に調整し、生産プロセス全体で一貫した結果を保証します。また、東京電子TE 8500SA TCESCエッチング資産には、独自の「リアルタイム」モーションコントロールモデルが搭載されています。このモーションコントロール装置により、ユーザーは構造物のサイズ、形状、質感を正確に制御することができます。たとえば、極めて精度の高いナノマスクを作成でき、エッチング時間などの所望の動作をいつでも調整でき、エッチング手順が正確かつ繰り返し最適化されます。TE 8500SA TCESCエッチングシステムは、熱結合パージガスボックスも備えています。この機能により、アルゴン、窒素、酸素などのさまざまなパージガスの圧力と混合レベルを簡単かつ確実に調節できます。また、エッチング処理は化学プロセスを利用しており、ユーザーは幅広いエッチング処理を行うことができます。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500SA TCESCエッチングユニットは、研究開発のための理想的なプラットフォームを提供します。その高精度と汎用性により、ユーザーはさまざまなプロジェクトやアプリケーションに必要な構造を正確かつ確実に作成できます。また、ユーザーフレンドリーな設計により、機械の操作とメンテナンスが容易になります。