中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #9316073 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500Sは、高精度・高生産性を追求した半導体エッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、アニーリング、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）、スパッタリング、イオンビームエッチングなど、さまざまなプロセスに適しています。高速ウェハトランスファー、マルチステップレシピコントロール、自動エンドポイント検出、低バックサイドエッチング、高精度用量制御などの機能が搭載されています。TEL TE 8500 （S）は強力な真空チャンバーを備えており、絶縁やディープエッチングなどのさまざまなエッチング処理のプロセス条件を効果的に制御します。このエッチャー/アッシャーは、マグネトロン型高周波インバータ電源を使用して、優れた均一なイオンビームエッチング性能を提供します。また、均一でクリーンなエッチングのための様々なソースのガスインジェクタを備えています、低表面粗さと。このエッチャー/アッシャーは、1回の実行で最大8インチのサイズのウェーハを処理することができます。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備え、日常の操作とメンテナンスを容易にします。また、処理手順を監視するのに役立つ視覚検査システム（VIS）も備えています。さらに、このエッチャー/アッシャーは、ユーザーと機器の安全を保証するために、緊急停止システムと複数の安全システムを備えています。それはまた動的波形制御と非常に安定した動力源を、より正確な適量制御を達成するために提供します。TEL TE 8500 （S）は、デュアルステージバルブ技術により、プロセスパラメータのエッチング精度と再現性を高めます。また、高度なパルスパターン認識を使用して、理想的なエッチングプロファイルに即時および自動調整を提供します。これにより、エッチャーはプロセス結果に対して非常に高い歩留まりと信頼性を生み出すことができます。全体的に、TE 8500 （S）は優れた精度と生産性を提供する最高級のエッチャー/アッシャーです。高い精度と再現性を必要とする半導体の研究開発や製造工程での使用に最適です。強力な真空チャンバーと高度な調達ガスインジェクタ、複数の安全システム、グラフィカルユーザーインターフェイス、および視覚検査システム（VIS）を備えています。また、自動エンドポイント検出と非常に正確な投与量制御のための動的波形制御が装備されています。