中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #9269148 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500Sは、シリコンウェーハ、石英、結晶材料などの基板を製造するために設計されたエッチャー/アッシャーです。高精度な制御装置と高スループットプラズマ源を備えています。基板を高精度に加工し、優れたエッチング結果を得ることができます。マルチガスフローコントローラとマルチゾーンプロセスチャンバーを備えており、すべてのターゲット条件において正確で高品質なエッチング処理が可能です。また、プロセスの安定性と均一性を確保する高精度の温度センサを備えた統合クローズドループ制御ユニットで設計されています。さらに、TEL TE 8500 （S）は、パターンの忠実度と選択性を向上させる超高解像度パターニング機能を提供します。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）は、高密度イオンエネルギーを備えた高分解能プラズマ源で、均一なエッチングパターンを作成します。また、ウェハレベルの加熱機を備えており、より高い密着率とより良い成形パターンを容易にします。直流（DC）と無線周波数（RF）の効果を兼ね備えた高密度イオンビームを使用することで、均一な厚さと抵抗で層を正確に堆積させることができます。さらに、TEL TE 8500 （S）は、プロセスの安定性を損なうことなく基板の迅速かつ正確なロードとアンロードを可能にする自動ウェーハ転送ツールで設計されています。高性能な自動チャンバークリーニングアセットを備えており、清潔度に関して効率的なメンテナンスとサイクルタイムを保証します。これは、複数の基板のための様々な化学およびオートメーションの機会をサポートしています。TE 8500Sは、優れたエッチング性能を提供し、半導体デバイス製造および研究の用途に適しています。また、医療、自動車、航空宇宙、ナノ材料向けの薄膜成膜およびエッチング工程に最適なツールです。