中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #9194477 を販売中
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ID: 9194477
ヴィンテージ: 1996
Oxide etcher
Wafer type: Notch
Chuck type 1: Polymide
Chuck type 2: M-Type
Caassette: 6" Cassette
Monitor type: LCD
Signal tower: PATLITE SLF-V
Visual: R / Y / G / B
Wafer transfer module:
Transfer robot: Load lock 1,2,3 / 6" or 8"
Transfer robot motor: R-Motor, E-motor (L/L 1,2,3)
Transfer robot driver: R-Driver, E-driver (L/L 1,2,3)
Process module 1:
APC Valve: TYLAN MDV-108
APC Heater & heater controller: Heater type
Matcher: DAIHEN MFM-20SA
Power splitter: DAIHEN MFT-20SB
C/M (Baratron): 10 Torr vaccum general CMLA-11
B.P He Control (Edge):
C/M (Baratron): TYLAN CMLA-21 100 TORR
PCV Unit / He controller: AERA PV-104C
MFC: SEC-4400RC
TMP: SEIKO SEIKI STP-H600C1
GAP
Gas module: P/C1
MFC / Gas1 (name/range/maker/model): CHF3 / 200 SCCM / STEC / SEC-7440MC
MFC / Gas2 (name/range/maker/model): CF4 / 200 SCCM / STEC / SEC-7440MC
MFC / Gas3 (name/range/maker/model): AR / 2 SLM / STEC / SEC-7440MC
MFC / Gas4 (name/range/maker/model): HE / 1 SLM / STEC / SEC-7440MC
MFC / Gas5 (name/range/maker/model): N2 / 100 SCCM / STEC / SEC-7440
Generator:
DAIHEN MFG-20SA P/C Power
Chiller:
LASEM TECH BCU-L152 Chiller
Chiller type: Dual
Pump:
P/C Pump: EDWARDS IQDP80
L/L Pump: EDWARDS IQDP80
EPD: JOBIN YVON H-10VIS
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500Sは、マイクロエレクトロニクス製造のためのフォトマスクや基板を正確にパターン化するために使用されるエッチャー、またはアッシャーです。エンドポイントの方向性エッチング、避難、決定を高精度で行うことができ、フォトマスクから基板に高解像度のパターン転送を提供します。TEL TE 8500 （S）は、毎回一貫したエッチングプロセスを保証する自動レシピ設定を備えています。基板/マスク加熱と冷却の温度範囲が広いため、シリコンから金属まで様々な材料で使用できますが、低温乾燥エッチャー工程では高価な余分なガスや副産物を供給する必要がありません。さらに、異方性エッチングを行うことができ、パルスエッチングを提供することができます。これにより、金電気めっきの場合の表面平滑化、エッチングによる小型化が可能です。このエッチャーは、最先端のサーモイオンエミッタ技術を使用してプラズマを制御し、エッチパターン転送で高い選択性を実現します。最後に、TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）は、堆積・エッチング領域の汚染を低減するマイクロ擬似プロセスを提供します。これはアッシャーの寿命を延ばし、メンテナンスや修理の必要性を減らすことができます。これはすべて、TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）を、マイクロエレクトロニクス製造業界の高精度アプリケーション向けの優れたエッチャーまたはアッシャーにするために組み合わされています。
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