中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #9148390 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500Sは、最大150個のウェーハを一度にバッチ処理するために設計された高度なエッチングおよびアッシングシステムです。独立したプラズマ加工チャンバ、3次元加工チャンバの動作機能、および幅広いエッチングおよびアッシング技術を備えた柔軟なアーキテクチャを備えています。この装置は、高精度のポテンシャルエネルギー制御と高品質のプロセスモニタリングを備えたシングルウェハおよび両面処理を使用しています。高度なオートレギュレーション技術により、低ノイズ、高出力のRFおよびDC電源を使用することで、優れた再現性と均一性を実現します。超高エッチング解像度と精密なエッチング・バイ・レンジまたはエッチング・バイ・ステップコントロールを提供し、オンラインとオフラインの両方のモードでリアルタイムのエッチングおよびアッシング監視を提供します。このユニットは、広範囲のウェーハ寸法および構成にわたって反復可能な結果を達成できます。TEL TE 8500 （S）は、自動基板認識と精密三次元トレイの動きと位置決め機能を備え、柔軟性を最大限に高めます。過剰エッチング保護、急速エッチング制御、急速停止制御などの高度なエッチング管理機能を提供し、繊細な基板の安全な処理を保証します。この機械の革新的なプロセス均一性モニタは、ウェーハ領域全体にわたって均一なプラズマエッチングを可能にします。また、エッチング、アッシング、成膜プロセスを精密に制御し、高度な基板洗浄・脱板機能を提供します。これは、エッチング性能を最適化するために高度なプロセスチャンバー加熱と冷却を利用しています。最後に、動的プロセスパラメータ調整を可能にする強力なレシピ言語が含まれています。高度な機能と機能を備えたTE 8500 （S）は、一度に最大150個のウェーハを高精度にバッチ処理するための理想的なエッチングおよびアッシングシステムです。高精度・高精度な再現性を実現します。