中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293811570 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500Sは、幅広い産業や用途で使用される集積回路の構築に使用されるエッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーは、製造プロセスの重要な部分であり、シリコンウェーハまたはガラス基板から正確な回路を作成するために使用されます。電磁エネルギーを利用して基板から材料を取り除き、回路の形状、厚さなどを極めて正確に制御することができます。TEL TE 8500 （S）はエネルギービーム源を備えており、スポットサイズで最大2200ワットの電力を30ミクロンまで供給できます。これにより、ユーザーはサブミクロン精度で機能をエッチングすることができ、光の波長よりはるかに低い線幅を達成することができます。このソースは、20から150kHzまでの幅広い動作周波数を提供し、25mTorrまでの真空圧力で動作できます。空気圧駆動の圧力段が用意されており、基板をウェーハ表面に正確に整列させることができます。これにより、集中レーザービームとより精密なエッチングが可能になります。また、特許取得済みのフォーカスガイド「TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）」を搭載し、レーザービームの焦点を調整することができます。これに加えて、316ステンレス鋼の部屋は優秀な腐食および耐久力のある設計を備えています。TE 8500 （S）は、高精度の回転ステージとリフトステージ、デジタルディスプレイとキーボード入力、タッチセンシティブ操作を備えたオールインワン設計です。内蔵の安全システムには、緊急停止およびインターロック機能、および自動シャットオフおよび空冷システムが含まれています。TOKYO ELECTRON TE 8500Sは、ウェーハ/基板エッチング/アッシングから工具製作、R&Dまで、幅広い用途に対応できるよう設計されています。その優れた精度と信頼性の高い安全機能により、集積回路の製造に最適なエッチャー/アッシャーです。