中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293643118 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S etcher/asherは、エッチングとアッシングの様々なプロセスに使用される高度なエッチング/アッシュ装置です。これは、お客様の特定のニーズに合わせてエッチングおよびアッシングプロセスパラメータを調整することができる静的なプロセス変更システムです。このユニットは、低温、高分解能のエッチングおよびアッシング処理、および複雑なマルチステップ処理が可能であり、幅広い材料で動作します。TEL TE 8500 （S）は、オーブン、コンベア、ロードロック、プロセスチャンバー、ウェーハ搬送機を内蔵したコンパクトな設計です。また、2つのin-situ ashingプロセスチャンバーを内蔵しており、それぞれが並列構成で独立して動作するため、幅広いエッチングおよびアッシング要件に対応するエッチング/アッシュプロセスパラメータを正確に制御できます。プロセスチャンバーは、最大圧力220 m Torr、温度180℃までの20inchウェーハを処理する機能を備えています。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）は、高度なオートチューニングツールを搭載し、プロセス設定を簡単に調整できます。また、正確なプロセスパラメータを可能にするユーザー選択可能なガス分配制御アセットと、エッチング/アッシュプロセスを制御するための高度な監視モデルも備えています。また、ESD検出、過圧保護、有毒ガス漏れ監視などの安全機能も備えており、安全な動作を保証します。TE 8500Sには、洗練された機器設計に加えて、さまざまな高度なプロセスソフトウェアが揃っています。Process Chemistソフトウェアを使用すると、必要に応じてプロセスレシピをカスタマイズして微調整できます。一方、Process Commanderソフトウェアを使用すると、さまざまな方法でシステムパラメータを制御できます。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）は、SIEMENSおよびAgilent AssetViewシステムとも互換性があり、ユニットのデータを簡単に追跡および分析できます。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）は、エッチングやアッシングに最適な多機能エッチャー/アッシャーです。その高度な機械設計、安全機能、プロセスソフトウェアの範囲は、あらゆるエッチングおよびアッシング用途に最適です。