中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293608636 を販売中
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ID: 293608636
ヴィンテージ: 1996
Oxide etcher
Wafer type: Flat
Chuck type 1: Polymide
Chuck type 2: ESC
Cassette, 6"
Monitor type: LCD
Signal tower: PATLITE SLF-V (R / Y / G / B)
Wafer transfer module:
Transfer robot: Load lock 1, 2, 3 / 6" or 8"
Transfer robot motor: R-Motor, E-motor (L/L 1,2,3)
Transfer robot driver: R-Driver, E-driver (L/L 1,2,3)
Process module 1:
APC Valve: TYLAN MDV-108
APC Heater and heater controller: Heater type
DAIHEN MEM-20SA Matcher
DAIHEN MFT-20SB Power splitter
VACCUM GENERAL CMLA-11 C/M (Baratron): 10 Torr
B.P He Control (Edge):
C/M (Baratron): TYLAN CMLA-21 100 TORR
PCV Unit / He controller: AERA PV-104C
MFC: SEC-7440
SEIKO SEIKI STP-H600C-T107 TMP
GAP
DC HV Module
Gas module: P/C1
MFC / Gas1: O2 / 20 SCCM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas2: N2 / 100 SCCM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas3: AR / 2 SLM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas4: CF4 / 200 SLM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas5: CHF2 / 200 SCCM / STEC / SEC-7440
DAIHEN MFG-20SA P/C Power generator
LASEM TECH BCU-L152 Dual chiller
EDWARDS iQDP80 P/C Pump
EDWARDS iQDP80 L/L Pump
JOBIN YVON H-10VIS EPD
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500Sは、半導体製造プロセスでよく使用される最先端のエッチング/アッシャー装置です。高度な技術を駆使し、高精度・高精度・高速なエッチング・アッシングを実現しています。TEL TE 8500 （S）の革新的な設計により、高度に自動化された正確なエッチングおよびアッシングプロセスを実現します。ウェハレベルの監視カメラや特殊なエッチング/アッシャー剤など、さまざまな機器で実現しています。さらに、システムは遠隔操作が可能で、人間の入力を最小限に抑えて、さまざまなエッチング/アッシャー処理を迅速かつ正確に実行するようにプログラムすることができます。また、真空エッチング/アッシャー加工により基板の損傷を低減し、エッチングの均一性を向上させ、高効率を実現しています。また、全圧計、O2コンテンツセンサ、膜厚モニタなどの各種センサを搭載しており、精密かつ正確なプロセス監視が可能です。また、メンテナンスが容易な設計となっており、生産ラインのダウンタイムを低減します。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）は、ポリシリコンや酸化ケイ素、バイポーラ、CMOS、アナログなど幅広い素材を扱うことができ、生産ラインの汎用性を高めます。また、200mm、 300mm、 450mmサイズなどの直径範囲で動作することができ、2インチから8インチの正方形ウエハまで、さまざまなウエハキャリアを提供します。プロセス制御の面では、TE 8500 （S）は、プロセス制御の改善や監視の制限など、幅広いオプションを提供しています。また、ユーザーの安全を念頭に置いて設計されており、安全の最前線などの特定の安全機能をアクティブ化して、オペレータを環境上の危険から保護することができます。TE 8500 （S）エッチング/アシアツールは、あらゆる生産ラインに対応する信頼性と柔軟性の高いソリューションであり、一致しにくいさまざまな機能と機能を提供します。その高度な設計は、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスに高い精度、スピード、精度を提供します。遠隔操作、自動化されたプロセス制御、およびユーザーフレンドリーな設計はそれをあらゆる生産ラインのための非常に有効な用具にします。
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