中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC #9194482 を販売中
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ID: 9194482
ヴィンテージ: 1996
Oxide etcher
Chamber
Wafer type: 8" Notch
Wafer loading type: Nomal
Processing type: Vacuum
Utility specifications:
Unit / Setting pressure
CDA (Air) / 6~8 Kg/Cm2
CF4 / 10~20 Kg/Cm2
He / 10~20 Kg/Cm2
Ar / 10~20 Kg/Cm2
CF4 / 10~20 Kg/Cm2
CHF3 / 10~20 Kg/Cm3
He / -
He / 10~20 Kg/Cm2
He / 10~20 Kg/Cm2
Main system:
Robot: Servo motor type
Valve: TYLAN GENERAL APC
Gage:
Maker / Model / Unit
TYLAN GENERAL / CML / 100 torr Pressure gauge
TYLAN GENERAL / CML / 100 torr Pressure gauge
TYLAN GENERAL / CML / 10 torr Pressure gauge
Gas flow control:
Maker / Model / Unit
STEC / SEC-4400 / 1000 SCCM MFC ( He )
STEC / SEC-4400 / 100 SCCM MFC ( N2 )
STEC / SEC-4400 / 1000 SCCM MFC ( Ar )
STEC / SEC-4400 / 200 SCCM MFC ( CF4 )
STEC / SEC-4400 / 100 SCCM MFC ( CHF3 )
Sub module:
Maker / Model / Unit
SEIKO SEIKI / MG-STPH600C / TMP Controller
SEIKO SEIKI / STP-H600Ci / TMP Controller
EDWARD / QDP80 / Dry pump
EDWARD / QDP81 / Dry pump
KOSAN / BCU-D152 / Chiller
RF Unit:
Make / Model / Description
OEM / - / Matcher
DAIHEN / MFT-20SA / Generator
DAIHEN / MFG-20SA / Power supply
DAIHEN / MFG-20SA3 / Volumcon't
Main power specifications: 3-Phase, 208 VAC, 60 A
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S ESCは、TEL製の高性能エッチャー/アッシャーです。エッチング用とアッシング用の2つの別々のチャンバーで構成されるマルチチャンバー装置です。これにより、高いスループットと基板間のバリエーションが低くなります。このシステムには、柔軟性と使いやすさを提供するいくつかの高度な機能があります。8500Sのエッチャー室には、様々な材料のエッチングを最適化するための酸素、ヘリウム、塩素ベースのソース・ガスを含む3ゾーンのソースが含まれています。アッシャーチャンバーは、ガスの流れを正確に制御することにより、金属層と誘電層の両方を処理するように設計されています。アッシャーはまた、任意のアッシング操作のためのガス流量/比率をプログラムおよび制御する機能を提供します。両チャンバーには、コンフィギュレーション可能なエッチング/アッシングチャンバーと、均一で反復可能なエッチング/アッシング性能を提供するプラテンジオメトリが8500Sに装備されています。さらに、このユニットにはユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスがあり、プロセスパラメータとレシピ開発を詳細に制御できます。TEL TE 8500S ESCは、ロックイン操作や環境保護機械などの高度な安全対策も備えており、あらゆる事故を防止し、安全な環境を確保します。さらに、このツールはエラー検出と修正機能を自動化し、プロセスと資産エラーの可能性を低減します。この8500Sは、真空制御された大気環境を利用して、クリーンで汚染物質のないエッチングとアッシング環境を確保しています。このモデルはまた、ラジカルや塩素やフッ素などの分子などの外国のガスの導入を可能にするガス注入装置を備えています。TOKYO ELECTRON TE 8500S ESCは、信頼性の高いエッチャー/アッシャーで、産業用途に必要な信頼性、スピード、高性能をユーザーに提供します。チャンバーはコンパクトで、他のシステムと簡単に統合できます。自動エラー検出、ユーザーフレンドリーなソフトウェア、コンフィギュレーション可能なエッチング/アッシングチャンバーなどの高度な機能を備えた8500S ESCは、効率的で正確なエッチングとアッシング性能を提供します。
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