中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #9158083 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PEは、高度なプラズマ処理と幅広いエッチング/アッシュ機能を組み合わせたエッチャー/アッシャーです。このモデルは、ダウンタイムを最小限に抑え、全体的なメンテナンスコストを低減し、優れた品質の処理を提供するように設計されています。この装置は、エッチングの均一性を向上させるための独自のエッジ丸みを帯びたウォール技術を備えており、一貫したエッチング/灰のパフォーマンスを保証するMFF™ （MultipleFrequency Generator）を備えています。TEL TE 8500PEエッチャー/アッシャーには、SoftCath™プラズマ、EMC™電子ビーム源、高度なプラズマソースセンサ技術が搭載されており、他のエッチャーと比較して選択性とエッチング率を向上させます。また、複数のレシピサポート、プロセスオートメーション、直感的なユーザーインターフェイス、カスタマイズされたプロファイルを保存する機能も備えています。TOKYO ELECTRON TE 8500 PEエッチャー/アッシャーは、高真空ユニットと高精度ガス流量制御を可能にする先進ガス搬送機を備えています。このツールは、最大700℃のプロセス温度と最大30 eVの高イオンエネルギーを備え、最大の表面活性化を実現します。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PEエッチャー/アッシャーには、リアルタイムチャンバー監視、プロセス条件の正確な制御、オンボード診断など、さまざまなプロセス監視および制御オプションが搭載されています。この資産は、TELや他のメーカーの他のエッチャー/アッシャーシステムやプロセスチャンバーとも互換性があります。これらの機能をすべて備えたTE 8500 PEエッチャー/アッシャーは、ダウンタイムとコスト削減を最小限に抑えた高度なエッチング/アッシュ機能を必要とする組織にとって理想的な選択肢です。