中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #293643494 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PEは、半導体製造業界で使用される次世代の高性能エッチャー/アッシャーです。ノンプロセスオペレーションと自動化された材料管理を利用して、優れたプロセスパフォーマンスを提供します。TEL TE 8500PEは300mmの大型エッチングチャンバーを誇り、最大8枚のウエハを一度に収納できます。エッチャーはまた、エッチング速度、レベリング、フリー形状、エッチプロファイルおよび均一性、および選択可能な抵抗レベルを含むエッチング・パラメータの高精度な制御を提供します。TOKYO ELECTRON TE 8500 PEは、エッチング表面に薄膜を生成する最先端の化学蒸着（CVD）技術を使用しています。温度と圧力を調整することにより、CVDプロセスを使用して、エッチングプロセスの化学反応性と選択性を調整することができます。これにより、TE 8500 PEは極めて微細な構造と縮小されたフィーチャーサイズのパターンを作成できます。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PEは、低k、有機、ドープ、およびCMP可能なプロセスを含む複数の材料を使用して、幅広いプロセスオプションを提供しています。また、オンラインウェハマッピング、OCR、歩留まり監視、データ処理オプションなどの高度なプロセスオートメーション機能も備えており、プロセスを迅速に最適化し、全体的な生産性を向上させることができます。TE 8500PEは、ウェットエッチプロセスとドライエッチプロセスの両方で、さまざまなエッチング化学物質を取り扱うことができます。RIE （Reactive Ion Etching）プロセスとDRIE （Deep Reactive Ion Etching）プロセスの両方で構成でき、大型の加熱シャワーヘッド、耐久性のあるステンレス製チャンバー、および調整可能なプロセスガス制御により、さまざまな化学オプションを使用できます。TOKYO ELECTRON TE 8500PEは、使いやすさとメンテナンスのために設計されています。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、ユーザーの利便性のためのディスプレイ、センサー、およびオンボードの自己診断およびメンテナンスユーティリティを備えているため、ユーザーはエッチング結果をすばやくトラブルシューティングおよび評価できます。全体的に、TEL TE 8500 PEは、高精度のエッチング性能とプロセスの柔軟性を提供します。高度なオートメーション機能とユーザーフレンドリーな設計により、エッチャー/アッシャーはさまざまな半導体製造アプリケーションに最適です。