中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #293643486 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PEは、プラスチック、金属、セラミックスなど様々な基板から電気部品を作り出すエッチャー（別名アッシャー）です。TEL TE 8500PEは、500mm×500mmのクォーツチャンバーを搭載し、最大200ウェハ/負荷の高速基板搬送装置を備えています。このシステムは、超滑らかで均一なエッチングプロセスを提供するように設計されています。TOKYO ELECTRON TE 8500 PEは、真空プラズマエッチング（VPE）、リアクティブイオンエッチング（RIE）、プラズマエンハンスドケミカル蒸着（PECVD）、誘導結合プラズマ（PECVD）、誘導プラズマ).TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PEは、プロセスの安定性を確保するための高度なプロセス制御ユニットを備えています。クローズドループ式温度制御ツール、圧力監視アセット、プロセス圧力制御モデル、プロセスガスフローモニター、プロセス圧力、温度、ガスの流れを制御するためのマスフローコントローラを内蔵しています。また、TOKYO ELECTRON TE 8500PEには、プロセスを分析し、歩留まりを予測するためのソフトウェアが組み込まれています。TEL TE 8500 PEはまた、そのパフォーマンスをさらに向上させるためのオプション機能やアクセサリの広い範囲を提供しています。これらのアクセサリーには、要求の厳しいプロセスのためのより強力なプラズマを作成するためのRF発電機、露出プロセスをサポートするための石英露出ヘッド、プロセス選択性を高めるための追加のプロセスガス源、露出後のサンプルを見つけるためのサンプルファインダーが含まれます。TE 8500PEは非常に汎用性の高いマシンで、マイクロプロセッサ、トランジスタ、およびその他のコンポーネントを作成するために使用すると、信頼性が高く反復可能な結果を提供します。その高度な制御システムとオプション機能の幅広い選択は、市場で最も人気のあるエッチャーの1つになります。