中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #293635445 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE etcher/asherは、物理蒸着（PVD）と組み合わせて直流（DC）プレーン磁気プラズマプロセスを利用した最先端のエッチング装置です。この高度なエッチャー/アッシャーは、プラズマエッチングおよび薄膜蒸着に使用されます。このデバイスには多くの技術的特徴があり、従来のエッチング/成膜技術に比べていくつかの利点があります。TEL TE 8500PEは独自のデュアルソースデザインを採用し、エッチング/蒸着プロセスに優れた柔軟性を提供します。ヘリウム、塩素、アルゴン、酸素、水素などの様々なガスを使用するオプションを提供し、エッチングおよび蒸着プロセスに大きな汎用性を提供します。このデバイスの強力なマグネトロンは、強力で均一なプラズマ場を生成し、理想的なエッチング/蒸着プロセスの結果を保証します。さらに、DC電源により、エッチングおよび蒸着速度の制御が容易になり、高品質のエッチング/蒸着プロセスが可能になります。非常に高い沈殿率で、TOKYO ELECTRON TE 8500 PEは、高いカバレッジを達成することができます。この高度なエッチャー/アッシャーは、エッチング/蒸着プロセスで品質の問題を防止し、信頼性の高い温度と圧力制御を提供する複雑な設計で、大きな囲まれたチャンバーを備えています。さらに、吸引バンパー、光放射分光法、水晶モニタリングなどの技術を搭載し、品質管理を可能にしています。TE 8500 PEはまた、自動漏れ検出、カーボンフィルターシステム、真空避難システムなどの高度な安全および環境保護技術を採用しており、大量生産に最適です。さらに、このデバイスは自動化されたメンテナンスシステムで設計されており、ユニットを簡単に保守および外部更新することができます。要するに、TE 8500PEエッチャー/アッシャーは高度なエッチング/蒸着装置であり、エッチングと蒸着のための汎用性と信頼性の高いプロセスを提供します。その高度な機能は、大量の均一なエッチングと成膜に最適なソリューションです。さらに、強力なマグネトロン、大型の封止チャンバー、洗練された安全性とメンテナンス機能により、あらゆるエッチング/成膜施設に理想的なデバイスです。