中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #197617 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE
ID: 197617
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1993
Oxide etcher, 8" 1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PEは、半導体基板の加工用に設計された先進的なドライエッチング式エッチャー/アッシャーです。ウェーハ表面の薄膜の精密な高分解能成膜に使用されます。この装置は優れたプロセス制御を提供し、再現可能なプロセス結果を保証するために設計された多くの機能を備えています。TEL TE 8500PEは、高速かつ微粒子の汚染が少ないエッチングを行います。エッチャーにはプラズマ源と直接RFジェネレータが装備されており、さまざまなエッチング技術を幅広く使用できます。圧力、電力、ガスの流れなどのパラメータを正確に制御することで、ユーザーは重要なプロセス結果を指定して妥協することはありません。エッチング工程で安定した清潔な雰囲気を維持するために、高真空ポンピングシステムを採用しています。これは、チャンバー内の粒子とガス分子の低レベルを維持することによって達成されます。エッチングに加え、チタンタングステン等のドライエッチングが可能です。また、プロセス中にレジストやシリカなどの化学成分の堆積を可能にし、エッチングに加えて表面をより均一にします。このユニットは、深さ、幅、および表面面積制御の精度と再現性のあるエッチングに適しています。安全・保護メカニズムに関しては、TEL TE 8500 PEは機器の安全な動作を保証する機能を備えています。有害な放射線からユーザーを保護する磁気遮蔽の形で放射線防護があります。さらに、このマシンには、エッチャー/アッシャーチャンバーへの粉塵やその他の粒子の侵入を防ぐ防汚フィルターが付属しています。これは、製品への潜在的な損傷の防止のために特に重要です。TOKYO ELECTRON TE 8500PEは、高精度部品の製造に最適なエッチャーです。高度な機能と優れたプロセス制御により、業界最高水準の再現可能な結果を生み出すことができます。また、製品の品質を確保するために安全性と汚染制御の保証を提供しています。
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