中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #155452 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PEは、ハイスループット、精密エッチング、アッシングプロセス向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。エッチングとアッシングにそれぞれ最大1。02 µmと50 µmの解像度で優れた精度を提供し、薄膜厚を実現します。また、酸化ケイ素、窒化ケイ素、窒化チタンなど幅広い材料の加工が可能で、小型・高密度デバイスの製造が可能です。TEL TE 8500PEは、最大2,500 sccmの高いガス流量と、内部メモリに保存された最大44の高速レシピプログラムを備えており、ユーザーはさまざまなレシピ間で迅速にプログラムと変更を行うことができます。TOKYO ELECTRON TE 8500 PEは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えた強力な組込みコンピュータオペレーティングシステムを備えており、レシピのセットアップとパラメーターの調整が簡単です。その他の機能には、最大7KWのデュアルカソードRF電源と、リアルタイムデータ収集用のプロセスモニタリングユニットがあります。TE 8500PEには、最大200個のウェーハを一度に処理できる自動カセットツーカセットウェーハトランスポートマシンが搭載されており、高スループットで高精度なプロセスを実現します。さらに、このツールには、プロセスの安定性のためにレシピパラメータを監視および調整する自動チェックアウト機能があります。温度、圧力、およびその他のエッチングおよびアッシングパラメータに対する正確な制御は、クローズドループ制御アセットによって提供され、ユーザーは高い再現性を達成することができます。プロセスコントロールに加えて、複数のロードロック機構や、オペレータを放射線から保護する安全シールドなどの安全機能も備えたTOKYO ELECTRON TE 8500PE。エッチャー/アッシャーは自動クリーニングサイクルも備えており、最適化された産業設計により迅速なメンテナンスが可能で、運用コストを削減できます。TE 8500 PEは、精密エッチングおよびアッシングプロセスに理想的なエッチャー/アッシャーであり、優れた精度と再現性、高スループット、幅広いプロセス材料、強力な機能、および安全機能を提供します。