中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #9412456 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500Pは、半導体等の産業用途向けの先進エッチャーです。高精度、信頼性、プロセスの再現性を提供するように設計されています。TEL TE 8500 Pは、フラットパネルロックとロードステーションを備えた真空エッチング装置をベースとしています。2。5インチと4インチの加工エリアを備えた450mmチャンバーと、シングル、デュアル、または4ベイの設計を備えています。自動周波数Control™および酸化物Assist™チャンバークリーニング技術を備えており、一貫して高いスループットと処理の均一性を保証します。TOKYO ELECTRON TE-8500 Pは、高精度の光電子光学システムを用いて位置精度を向上させます。また、各ステージの2位置のオン/オフ設定を使用して、チャンバのパフォーマンスとプロセス制御を最適化することもできます。さらに、圧力制御プロセスは、高速かつ再現性のあるエッチングと蒸着ステップを提供します。TOKYO ELECTRON TE 8500 PはTEL独自のAPT OPCを搭載。APT OPCはモデルベースの光学近接補正であり、最適なリソグラフィとエッチング結果を得ることができます。また、解像度45nm以下で動作することができ、さまざまなレシピと互換性があります。エッチャーは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスとデータベースにレシピとして保存できる自動化された操作パラメータを備えた人間工学に基づいた制御システムを備えています。TE-8500 Pは、再利用可能なシーケンス、ファイルストリーミング機能、プラグインモジュール、および強化されたOPC機能を使用して、生産要件に合わせてさらにカスタマイズできます。TEL TE-8500 Pには、3レベルのパスコードアクセスユニットを備えた許容圧力間のプロセス動作を保証する過圧安全インターロックなど、いくつかの安全機能が含まれています。また、エッチングツールの汚染を防ぐ動的温度制御装置と化学管理を備えています。結論として、TOKYO ELECTRON TE 8500P Etcherは、高度な半導体エッチング用途に最適です。高精度、高信頼性、プロセス再現性を兼ね備え、特殊なエッチング技術、直感的な制御システム、および最適化されたエッチング処理のためのさまざまな安全機能を備えています。