中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #9398283 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P etcher/asherは、集積回路加工、フラットパネルディスプレイ製造、フォトマスクパターニングなど、さまざまな材料の表面を精製する高効率エッチング/アッシング装置です。TEL TE 8500 Pシステムは、高度な制御技術、プレミアムコンポーネント、および包括的な安全機能を組み合わせて、ユーザーに高利得性能と耐久性を提供します。独自のソフトウェアアルゴリズムとハードウェアコンポーネントを使用して、露出、タイミング、温度を正確に制御します。TOKYO ELECTRON TE-8500 Pエッチャー/アッシャーユニットは、真空チャックを内蔵した強力なエッチングユニットと、精密エッチング/アッシングプロセスを提供する統合アッシャーチャンバーを備えています。エッチング/アッシングマシンには、有害ガスを除去するエアフードと、有害物質を低減するためのガス浄化ツールが装備されています。TOKYO ELECTRON TE 8500Pは、補正のための時間制御および温度制御のエッチング/アッシング処理、および高品質のエッチング/アッシングのための最大8つのガス接続も提供します。TEL/TOKYO ELECTRON TE-8500 Pの正確な温度制御と調整可能な高周波エッチング源により、エッチング時間を短縮し、振動を低減し、均一性を向上させます。エッチング率を調整するために、アセットには高、中、低温の設定が選択可能です。電流モードと電圧モードは調整可能で、エッチガスプロファイルは調整可能です。TOKYO ELECTRON TE 8500 Pには「メンテナンスポート」も装備されており、問題が発生した場合にはオペレータがデバイスをチェックしてデバッグすることができます。また、自動校正、メモリ管理の強化、高度な診断機能を備えており、機器の監視を容易にし、予期しないダウンタイムを防止します。Pエッチャー/アッシャーシステムTE-8500、金属、合金、セラミック材料、有機材料のCMPおよびエッチングなどの製造プロセスに効率的で汎用性の高いソリューションを提供します。ユーザーのセットアップ、信頼性の高い操作、高品質な結果が必要なため、多くのエッチングやアッシング作業に最適です。