中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293766868 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500Pは、半導体デバイス製造用の自動エッチャー/エイサーです。この装置は、自動コーティングチャンバー、冷媒カバー、プログラム可能な研磨検出器、ロードロックアームシステムなどの高度な機能を備えています。TEL TE 8500 Pは、高度なエアベアリングプラットフォームを採用し、パッドレベルの半導体デバイスに対して正確なモーションコントロールと安定性を提供します。これにより、サイクル時間が短く、プロセスの均一性が向上し、正確で再現性の高い結果が得られます。TOKYO ELECTRON TE-8500 Pは、エッチング周期において3段階のプロセスを特徴とし、最大8種類の材料を同時にエッチングすることができます。最初の段階は、プロセスを妨げる可能性のある汚染物質を除去するように設計された前処理ステップです。第2段階は望ましいプロフィールおよび表面の終わりを達成するのを助ける磨くステップです。第3段階は外的な摩耗および腐食から装置を保護するために堅い保護コーティングを適用する保護層のエッチングのステップです。TOKYO ELECTRON TE 8500Pは、自動塗装チャンバーにより処理ミスやサイクルタイムを低減します。このチャンバーは、エッチング処理中にコーティング粒子が逃げるのを防ぎ、サイクル時間を短縮します。チャンバーには冷媒カバーが装備されており、プロセス温度を低減し、均一なエッチング結果を保証するために制御された雰囲気を提供します。これらの特徴の組合せは、精密で信頼性の高い表面化学を提供し、廃棄物を減らし、歩留まりを改善します。また、TE 8500 Pは、基板全体で均一な温度を維持するために温度制御を最適化します。これにより、エッチングサイクルの高速化とプロセス全体の正確な品質管理が可能になります。さらに、ユニット内のプログラム可能な研磨検出器は、研磨粒子の正確な制御を可能にし、基板損傷のリスクを低減します。ロードロックアームマシンは、基板と基板の接触を最小限に抑え、欠陥や損傷のリスクをさらに低減します。TOKYO ELECTRON TE 8500 Pは、高品質で反復可能な結果を生成するように設計された先進的な産業グレードのエッチャー/アセツールです。高度な機能と正確な温度と正確な表面制御を組み合わせることで、効率的で信頼性の高いエッチングソリューションを提供します。その高度な機能と自動化されたプロセスにより、超高スループットを維持することができ、高度な半導体デバイスのメーカーにとって人気のある選択肢です。
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