中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293668446 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P etcher/asherは、集積回路、マイクロエレクトロニクス製品、フラットパネルディスプレイの製造に使用される最先端のリソグラフィ装置です。二酸化炭素（CO2）レーザーをエネルギー源として利用し、シリコンウェーハの微細構造を構築しています。二酸化炭素レーザービームは、ナノ秒未満のパルス幅と最大1。8 J/cm2の流動で、迅速かつ正確に生成されます。レーザービームは、サイズ、形状、強度に合わせて調整して、所望の微細構造を生成することができます。レーザー光線は2つの統合されたガルバノメーターミラーおよび2つのズームレンズの使用によって高精度に指示され、制御されます。TEL TE 8500 Pエッチャー/アッシャーは、高度なパターン認識システムも備えています。このユニットは、入力画像のパターンを認識し、それに応じてレーザービームを調整するためのアルゴリズムを利用しています。これにより、ターゲットパターンがウェーハ内で正確に再現されます。TOKYO ELECTRON TE-8500 Pは、ドライエッチングから化学蒸着まで、幅広いプロセスを提供しています。それはシリコン、サファイアおよびゲルマニウムを含むいろいろな基質と、使用することができます。また、ウェットエッチング、ドライエッチング、急速なサーマルアニーリング、シングルウェーハリフトオフなど、さまざまな材料最適化プロセスも提供しています。さらに、マシンは、各プロセスのレベルと制御パラメータの最適な範囲を識別することができます。これにより、生産歩留まりが最大化および維持され、エラーや欠陥が最小化されます。TOKYO ELECTRON TE 8500 Pは、多くのロボットシステムと互換性があり、製造メーカーは生産にオートメーションを使用することができます。エッチャー/アッシャーには、幅広いメンテナンスおよびフォルトモニタリングシステムが装備されており、高い成功を収めて継続的に動作することができます。TE 8500Pは、強力なCO2レーザーを使用して基板内に精密な微細構造を作成する高度なエッチャー/アッシャーツールです。洗練されたパターン認識と最適な制御パラメータを備えているため、小型で複雑な部品の製造に最適です。また、多くのロボットシステムと互換性があり、自動生産が可能です。さらに、その多数の障害監視システムは、信頼性の高い、継続的な動作を保証します。