中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293643485 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500Pは、半導体製造プロセスで使用される高度なエッチャーおよびアッシャーです。多用途なエッチャーには、複数のエッチプロセス、200mm/minの高スループット機能、および選択可能な均一性コントロールなど、多くの機能があります。この8500Pは、温度、圧力、およびエッチング速度をリアルタイムで監視することで優れたプロセス制御を提供し、精密なエッチプロファイルを可能にします。エッチャーは、塩素、ヨウ素、その他のエッチング材料を含むさまざまなエッチング化学物質を利用しており、ドライエッチング、ウェットエッチング、およびウェットエッチング/ドライエッチングプロセスの組み合わせに構成可能です。エッチャーは複数のエッチングプロセスに対して設定可能であるため、8500Pは様々なアプリケーションに適しています。さまざまな基板に優れたブラストエッチングを実現し、優れた機能の清潔性とクリティカルなアスペクト比の制御を実現します。さらに、エッチャーの高スループット機能、プロセス監視、および選択可能な均一性制御により、超高精度エッチング作業にも優れています。TEL TE 8500 Pエッチャーは、真空プロセス制御および回収システムであるTEL FlexPumpとも互換性があります。これにより、エッチング工程でのプロセス制御と効率が向上します。TOKYO ELECTRON TE-8500 P etcherの多様性と信頼性により、さまざまなエッチング用途に最適です。その複数のエッチングプロセス、高スループット機能、選択可能な均一性制御、およびプロセス監視を組み合わせて、特に高アスペクト比の機能のための優れた精度エッチングジョブを実現します。TOKYO ELECTRON FlexPumpとの互換性により、高度なプロセス制御と効率を実現します。また、優れたプロセス制御により、さまざまなエッチング用途において信頼性が高く費用対効果の高い選択肢となります。