中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293643484 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P etcher/asherは、エッチング、アッシング、洗浄機能を1つのプラットフォームに統合した最先端の半導体デバイス処理装置です。その高度な機能は、半導体デバイスの製造に最適です。PCから直接操作することができ、セットアップ時間を最小限に抑えて迅速にジョブを作成・運用できます。高度なプロセス制御アルゴリズムにより、安定した高品質のプロセスを維持し、エッチングとアッシングプロセスの切り替えを容易にします。エッチャー/アッシャーには、ウェットエッチングやドライエッチング、アッシングおよびクリーニング機能など、さまざまなプロセスオプションがあります。また、高速デジタルサーボコントロールユニットを搭載し、エッチングやアッシングパラメータの微調整が可能です。また、ランプコントローラ、PIDコントローラ、その他のプロセス最適化アルゴリズムなどの複数のデジタル制御オプションをサポートし、最適なプロセス性能を保証します。TEL TE 8500 Pの高度な安全機能には、プロセスによって生成された汚染物質の漏れ検出ツール（LDS）と作業暴露限界（OEL）監視資産が含まれます。LDSは微量のガス、蒸気および酸化物の粒子を検出することができ、OELの監視モデルは安全な操作レベルを保障するために空気中の粒子、金属蒸気、酸化物等のために絶えず監視します。また、すべてのデータポイントとイベントを格納する高度なイベントロギングシステム、温度制御ユニットなど、ユーザーがプロセスのパフォーマンスを密接に監視できる複数の監視および制御システムも含まれています。 （TCS）温度・圧力のリアルタイム測定、ガスフローマシン ガス圧力、流量、その他のデータポイントを分析するために使用できる（GFS）。さらに、このツールにはAPC （Automatic Pressure Control Asset）があり、ユーザーは特定の動作圧力を設定でき、プロセス条件に基づいて自動的に調整されます。東京電子TE-8500 Pは、オンボードのデジタル排水処理モデルとさまざまな廃棄物管理オプションで環境保護も提供しています。この装置は、ユーザーのエネルギー消費量を削減し、ほこりや粒子レベルを低減し、環境に優しいエッチングおよびアッシングソリューションを提供するのに役立ちます。TE 8500 Pは、今日の最先端の半導体デバイス製造プロセスで最も信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。これは、プロセス制御と監視オプションの完全な範囲を備えており、安全で信頼性が高く効率的な操作を保証します。