中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293608637 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500Pは、半導体業界で使用される超高解像度エッチャー/アッシャーです。フォトマスク、集積回路（IC）リソグラフィ、薄膜蒸着など様々な用途に対応できる汎用性の高い装置です。TEL TE 8500 Pは、高い均一性を持つ複数の基板の同時処理を可能にする大容量チャンバーサイズを備え、デバイス層などに高性能なソリューションを提供します。デジタルコントロールシステムにより、正確なパターニングのアライメントと精度が保証され、高度な堆積技術により幅広い化学物質を使用できます。TOKYO ELECTRON TE-8500 Pは、高い蒸着精度と再現性と優れた均一性を提供する高度な真空システムを備えています。エッチャーのドライエッチレート（EDR）およびユニフォーム（UN）測定可能なパラメータを制御し、誘電損傷を最小限に抑えた超高分解能を実現します。エッチャーのコントローラは、簡単なセットアップと操作のための直感的なソフトウェアを提供し、特定のアプリケーションのためのパラメータの範囲で微調整を可能にします。さらに、TE 8500Pには高度で洗練されたパターン認識システムが含まれており、基板とパターンを方位角と半径方向の両方で正確に整列させることができます。エッチャーの大きなチャンバーサイズは、金属、絶縁体、半導体の複数の層の同時蒸着とパターン化を可能にします。これにより、処理時間が短縮され、すべてのレイヤーで同じ膜厚、粒度、デバイス特性が一貫していることが保証されます。また、TE-8500 Pは、フッ素キャリア（FAC）をはじめとする様々なガスに使用することができ、エッチング速度と均一性を低くすることで高精度な成膜が可能です。このエッチャーは、生産性を向上させた高速プロセスを提供することも可能であり、1時間あたり最大100万パターンの機能を処理することができ、最適な製品歩留まりと低コストを保証します。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 Pは、比類のない精度、精度、および位置制御を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。様々な半導体やデバイス製造プロセスに汎用性の高いプラットフォームを提供し、幅広い研究・商用アプリケーションに欠かせないツールとなっています。