中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293608635 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500Pは、さまざまな微細加工プロセス向けに設計された高精度エッチャー/アッシャーです。精度、再現性、信頼性の優れた組み合わせを提供します。TEL TE 8500 Pは、4つの独立した運動軸を備えています。X軸とY軸はともに5ミクロンの分解能を持ち、基板表面を正確に配置することができます。X軸は、基板をある場所から別の場所に素早く移動するための簡単な移動機能も備えています。Z軸は0。1mm-17。5mmの範囲を提供します。W軸は± 45°の範囲を持ち、基板位置の正確な操作を可能にします。TOKYO ELECTRON TE-8500 Pは、酸素の流れやガスの流れなど、さまざまなプロセス制御オプションも提供しています。これにより、ユーザーは特定の要件に合わせてエッチングおよびアッシングプロセスをカスタマイズできます。独立したイオンソースにより、プロセス全体にわたって手動で繰り返し調整する必要がなくなり、正確で一貫したエッチング/アッシング結果が保証されます。TEL TE 8500Pには、タッチスクリーンモニターとオプションのPC操作が含まれています。モニターは簡単にシステムを監視し、操作するためのシンプルなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。PC操作により、ユーザーはレシピの保存とリコール、再現性のためのプロセスの合理化、および統計的なプロセス制御測定を実行できます。TEL TE-8500 Pはまた、非常停止ボタン、エッチング/アッシング圧力の自動調整、およびすべてのモータドライブの過電圧保護を備えた優れた安全規格を提供しています。無音で振動のない操作はまたユーザーのための最高の慰めを可能にします。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON TE-8500 Pは、幅広い微細加工プロセスに対応するように設計された、汎用性と信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。その4つの独立した軸の動き、さまざまなプロセス制御オプション、直感的なタッチスクリーンモニターは、正確さ、再現性、信頼性を保証します。さらに、その安全機能とサイレント操作を組み合わせることで、あらゆるアプリケーションにとって安全で快適な選択肢となります。