中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293585750 を販売中

ID: 293585750
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Dry etcher, 8" Process: Oxidized film dry Non-SMIF Type AC Rack EBARA A30W Dry pump Pump control rack AERA FC-720AC MFC Gas: CHF3, CF4, O2, Ar, O2, CO Back pressure: He Treatment chamber: (3) Gases Chiller Power cable Chiller cable Power supply: AC 200V, 50/60 Hz, 3-Phase. 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500Pは、極めて先進的なエッチャー/アッシャー装置で、さまざまな重要な微細加工アプリケーションのニーズに対応して設計されています。システムは、フル機能のプロセス制御と洗練されたハードウェアとソフトウェアオプションの広い範囲が装備されています。単位は特定の顧客の要求を満たすためにカスタマイズすることができます。TEL TE 8500 Pは、エッチング、アッシング、ストリッピングなどのさまざまなプロセス工程を、高エッチング率、タイトなプロセス制御、効率的に処理するために設計された、完全に統合されたデバイスです。このマシンには、ユーザーが特定のニーズに合わせてカスタマイズできる幅広いカスタマイズ可能なオプションがあります。TOKYO ELECTRON TE-8500 Pには、強力で高速な微細加工ツールが搭載されています。アセットは、1つのプロセスステップで最も複雑なエッチング、アッシュ、ストリッピング操作を実行できます。このモデルには、2つの独立したフル機能のイメージャチャネルが装備されており、高解像度、リアルタイムイメージング、およびマイクロ加工機能のイメージング解析を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON TE-8500 Pは、インタラクティブなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、直感的でパワフルな機能で機器にアクセスし制御することができます。このシステムには、自動レシピストレージ、プロセスパラメータの最適化、リアルタイムプロセスフィードバックに基づいたレシピの調整など、さまざまなプロセス制御機能があります。TEL TE 8500Pのハードウェアは、精密微細加工に適した堅牢性を備えています。このユニットは、メインフレーム、オペレータコンソール、電源を含む多数のコンポーネントで構成されており、それぞれが最大の性能と信頼性を備えています。高速冷却機能も搭載しており、安全性と操作精度を高めています。最後に、TE-8500 Pには、メーカーから利用可能なソフトウェア、サービス、サポートの広範なスイートがあります。これにより、お客様は高度な機械機能を簡単に利用でき、新しい開発およびエンジニアリングサービスを含むことができ、ツールの操作にパーソナライズされた支援を得ることができます。
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