中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9402436 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、半導体製造用に設計された高性能エッチャー/アッシャーです。このツールは、高速かつ低コストで高精度な結果を提供します。TEL TE 8500は、微細または純粋なエッチング機能を備えた複数のプロセスフローを統合し、0。25 μ mまでの小さなパターンの高精度エッチングを可能にします。東京エレクトロンTE 8500は、水素（H2）またはフッ素（F2）から発生する低圧プラズマを用いた薄膜蒸着プロセスを可能にする、強力な薄膜蒸着機能を備えています。また、高度なユーザーフレンドリーなグラフィカルコントロールインターフェイスを備えており、簡単なプログラム設定と効率的なレシピ制御を可能にします。機械は他の製造装置と統合されてデータが交換され、プロセスフローが最適化されることを保証することができます。TE 8500には、2つのプロセスチャンバー、2つのロードロック、ガス供給ボックス、プラズマ源が装備されています。適切なアプローチは、高密度プラズマを生成するために使用されます。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、エッチング材料の低消費電力化とエッチング工程の環境負荷低減を両立させ、プロセス性能を最適化するための特別設計です。処理チャンバ内の温度は受動的に安定化され、革新的な陽極酸化制御システム（ACS）は環境の純度を維持します。ACSはまた、陽極酸化反応が周囲条件の変化によって影響を受けるのを防ぎます。TEL TE 8500は、プラズマパワー、温度、室内清浄度など、現場のプロセスパラメータを監視する各種センサを搭載しています。モニターはオペレータが最適な結果を確保するためにタイムリーな調整を行うことができます。さらに、高度な制御システムにより、簡単なレシピ設定が可能になり、エッチングプロセスを効率的に制御できます。TOKYO ELECTRON TE 8500は、効率的なエッチングソリューションを必要とするお客様に最適です。精度、スピード、低コスト、効率的なプロセス制御により、半導体デバイス製造に最適です。
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