中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9394809 を販売中
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ID: 9394809
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
Oxide etcher, 8"
Chuck type: ESC
RF Generator
ENT Shuttle
Aligner
ISO Module
Cable harness
No chillers
(2) Indexers:
881-621550-3 Control board
UDX5107 5-Phase driver
Handler arm:
BC10CA52CACDN AC Servo motor: 3000 rpm, 10 W
881-621560-2 Int conn board
893-020880-2 Control board
Prealignment:
(2) VEXTA PX244M-01A-C4 Stepping motors, 4 V, 1.2 A
808-621570-2 PA Control board
Load lock:
FGL11-X7 CKD Leak valve: 12 V, 8 W, 3.5-5 kg/cm²
Orifice: 2.2
(2) External motor driver: DBAP10CA52CS536 AC Servo driver
(2) Rotor motor driver: DBCP10CA52CDB AC Servo driver
(2) Load lock motor: BC10CA52CACDN AC Servo driver
(2) Board: 1881-022047-11 Vacuum control board
(3) C-2-FA-50-60-R3 Load lock cylinders
C-2-50-60-R Load lock cylinder
VAC Card rack:
Manostar switch: MS61L Differnetial pressure switch, 2-22 mmHg
E5AX-AH01 Temperature controller: 100-240 VAC, 15 VA, 50/60 Hz
808-62150-1 Gas I/F Board
Gas boxes:
Valve / Model / Gas / Flow rate
Pressure switch / FC-980C / - / -
MFC / FC-980C / N2 / 2 SLM
MFC / FC-980C / O2 / 100 SCCM
MFC / FC-980C / HE / 1 SLM
MFC / FC-980C / AR / 2 SLM
MFC / FC-980C / CF4 / 100 SCCM
MFC / FC-980C / CHF3 / 100 SCCM
MFC / FC-980C / HE / 20 SCCM
Regulator / SQ140-50-3P / - / -
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、基板から材料を選択的に除去するシリコン製造プロセスで使用されるエッチャー（またはアッシャー）です。これは、材料の表面特性を変化させるために設計された反応性プラズマまたは化学化合物に基板を露出させることによって達成されます。TEL TE 8500は、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング（RIE）、および両方の組み合わせを含む複数のエッチング技術を使用して標準エッチングアプリケーションを実行することができます。TOKYO ELECTRON TE 8500の先進的なウェーハアライメント装置は、複数の基板にわたって優れたパターンメンテナンスを提供し、プロセスコントローラにより下流工程の最適化を可能にします。TE 8500には、プロセスのニーズに応じて使用される複数のポッドがあります。各ポッドには、必要なプラズマを生成する複数の電子サイクロトロン共鳴（ECR）エッチング源が含まれています。チャンバーは、異なるECRソースと動作パラメータで構成でき、幅広いプロセスオプションをユーザーに提供します。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、リアクティブイオンエッチング（RIE）用の複数のソースも備えています。RIEソースを使用すると、ユーザーはアプリケーションの正確なニーズに合わせてエッチングを調整できるため、エッチングの選択性と制御性が向上し、優れたスループットが得られます。TEL TE 8500は、ユーザーがエッチング処理を測定・分析できるプロセス監視システムを内蔵しています。このユニットは、プロセス変数を迅速かつ正確に調整して歩留まりとスループットを最大化するリアルタイムのプロセス最適化を可能にします。TOKYO ELECTRON TE 8500には、エッチングプロセス中に比類のないレベルの精度と再現性を提供するデジタルビデオ監視機があります。ビデオモニターは、ウェーハのすべてのバッチが同じエッチング条件を経たことを保証し、バッチ間の変動を排除し、結果の再現性を向上させます。TE 8500は、半導体エッチング用途に有効かつ正確なソリューションです。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、高度な自動化と適応可能なプロセスパラメータの組み合わせにより、シリコン製造プロセスにとって貴重なツールです。
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