中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9384750 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500
ID: 9384750
Oxide etchers.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、素材をエッチングする装置です。これは、優れたプロセス均一性、正確な微細解像度、高速スループットを提供するように設計されたフォトリソグラフィックプロセスに最適なエッチャーです。このエッチャーは、正確で反復可能なプロセスを保証するために設計された強力な技術で構成されています。これは、プロセス全体でパフォーマンスのフィードバックを提供するコンピュータ化された監視および制御システムの最新のが装備されています。このデバイスは、2つの独立したマスフローコントローラ、正確なスローフローエッチング技術、および高度なチャンバー設計により、優れた性能を提供します。これらの機能は、強力で直感的なソフトウェアと組み合わされ、エッチング処理の優れた制御を提供します。TEL TE 8500は、ほとんどのフォトリソグラフィーシステムとの最大限の互換性と統合のために設計されているため、既存のシステムを簡単にアップグレードできます。さらに、エッチャーはパッシブコーティングとアクティブコーティングの両方に対応しており、コーティングと基材の間の優れた接着性を実現します。チャンバー設計は一定のエッチング速度を提供し、ウェーハのスループットを最大15%向上させます。チャンバーはまた、均一な温度と一貫したエッチング率を維持するのに役立つ再循環システムを備えています。このエッチャーは、業界最高の信頼性と安全基準を満たすように設計されています。これには、高度なセンサーを使用して圧力、温度、または他の条件の変化を検出する自動シャットオフシステムなどの強化された安全機能が含まれます。TOKYO ELECTRON TE 8500には、包括的な診断および監視機能も備えています。これには、オンボード、グラフィカル診断パネル、リアルタイムのトレンド監視が含まれます。さらに、TE 8500は、水使用量を削減する高度な湿式ステーションを備えた、費用対効果の高いソリューションを提供します。このデバイスはまた、直感的なコントロールのために簡単に操作でき、理解できるユーザーフレンドリーなインターフェイスで構築されています。これらの機能を組み合わせることで、TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500はあらゆるフォトリソグラフィープロセスに理想的なエッチャーとなります。
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